ใช้เทคโนโลยีการระเหยด้วยลำแสงอิเล็กตรอน/การพ่นด้วยแมกเนตรอนแบบผสมผสาน พร้อมระบบช่วยการสะสมฟิล์มด้วยแหล่งไอออน โดยออกแบบมาเป็นพิเศษสำหรับการผลิตฟิล์มออปติกแบบหลายชั้นที่มีความแม่นยำสูง เพื่อให้ได้ฟิล์มออปติกที่มีความสม่ำเสมอสูง ความบริสุทธิ์สูง และความแม่นยำสูง
■ การตรวจสอบความหนาของฟิล์มแบบสองโหมด (คริสตัล/ออปติคัล) ควบคุมแบบปิดลูปอัตโนมัติเต็มรูปแบบ
■ โครงสร้างแบบบูรณาการแนวตั้ง พื้นที่ใช้งานน้อยและใช้งานง่าย
■ การสะสมฟิล์มด้วยแหล่งไอออนช่วยเสริม ทำให้ฟิล์มมีความหนาแน่นและยึดเกาะแน่น
■ โหมดคู่แบบปรับด้วยมือ/อัตโนมัติเต็มรูปแบบ เหมาะสำหรับทั้งงานวิจัยและพัฒนา (R&D) และการผลิตจำนวนมาก
■ ระบบตรวจสอบความหนาของฟิล์มนำเข้าจากต่างประเทศ ความแม่นยำในการควบคุมความหนา ≤±1% ความสามารถในการทำซ้ำของระบบฟิล์มยอดเยี่ยม
■ การทำความสะอาดเบื้องต้นด้วยแหล่งไอออน ช่วยเพิ่มการยึดเกาะระหว่างฟิล์มกับพื้นผิวฐานอย่างมีนัยสำคัญ
■ สภาพสุญญากาศสูง ไม่มีสิ่งเจือปนในฟิล์ม อัตราความสอดคล้องตามข้อกำหนดด้านประสิทธิภาพแสง 100%
■ เข้ากันได้กับกระบวนการเคลือบหลากหลายประเภท มีความสามารถในการปรับตัวกับกระบวนการผลิตได้ดีมาก
| รุ่น | CCZK-1350-OGS | CCZK-1600-OGS | CCZK-2050-OGS |
| ขนาดห้อง | D1350 มม. × H1350 มม. | D1600 มม. × H1500 มม. | D2050 มม. × สูง 1600 มม. |
| Power Load | 67KW | 86kW | 105KW |
| พื้นที่ลงจอด | ยาว 5700 มม. × กว้าง 4900 มม. × สูง 3050 มม. | ยาว 6800 มม. × กว้าง 5800 มม. × สูง 6780 มม. | ยาว 8300 มม. × กว้าง 7000 มม. × สูง 4200 มม. |
| ฟิล์มเคลือบผิว | ฟิล์มต้านการสะท้อนแสง (AR), ฟิล์มต้านรอยนิ้วมือ (AF), ฟิล์มสะท้อนแสงสูง, ฟิล์มกรองแสง, ฟิล์มต้านการสะท้อนแสงแบบแบนด์กว้าง (BBAR); ความแข็งของฟิล์ม AF ≥6H, ฟิล์มออปติคัลมีความหนาแน่นสูงและไม่มีรูพรุน | ||
| ระบบสูบ | ปั๊มดูดแบบแพร่กระจาย / ปั๊มโมเลกุลเทอร์โบ + ปั๊มเสริมแรงดัน + ปั๊มใบพัดหมุน + ปั๊มคงสภาพ (ปั๊มไครโอเจนิกและปั๊มโพลีโคลดเป็นตัวเลือกเพิ่มเติม) | ||
| ระบบสุดยอด | 5*10-4Pa (ห้องสะอาดและว่างเปล่า) | ||
| ระบบหมุน | การหมุนรอบตัวเองและการโคจรแบบดาวเคราะห์ 6 / 8 / 10 / 12 / 16 แกน |
||
| ระบบเคลือบ | คานไฟฟ้าแบบ E แหล่งไอออนแบบฮอลล์ เส้นทางการไหลของก๊าซ MFC แบบกระจาย CTM ®เครื่องตรวจสอบความหนาของผลึกควอตซ์ |
||
| การให้พลังงาน | แหล่งจ่ายพลังงานสำหรับคานไฟฟ้า พลังงานไฟฟ้าพลาสมา |
||
| ระบบปฏิบัติการ | ระบบควบคุมอัตโนมัติเต็มรูปแบบ (ผ่าน IPC/PLC) + การควบคุมจากระยะไกล + ระบบแจ้งเตือน (รองรับโปรโตคอลการเชื่อมต่อ OPC-UA) |
||
| หมายเหตุ | ขนาดการจัดวางระบบที่เฉพาะเจาะจงสามารถออกแบบได้ตามความต้องการของลูกค้าเกี่ยวกับผลิตภัณฑ์ที่ต้องการเคลือบ | ||
ใช้งานอย่างแพร่หลายในการผลิตเลนส์กล้องสำหรับสมาร์ทโฟน เลนส์ออปติก เลนส์แว่นตา กระจกหน้าจอสำหรับยานยนต์ ชิ้นส่วนออปติกสำหรับเทคโนโลยี VR/AR และตัวกรองความแม่นยำสูง รวมทั้งสามารถสร้างชั้นฟิล์มที่มีความแม่นยำและสม่ำเสมอพร้อมเอฟเฟกต์ที่หลากหลาย





