Optický přesný zařízení pro vakuumové povlakování metodou PVD

Programování systému vícevrstvých povlaků
Řiditelný proud elektronového paprsku elektronové pistole
Monitorování tloušťky povlaku pomocí křemenného krystalu

Úvod

Využívá kompozitní technologii vypařování elektronovým paprskem a magnetronového naprašování s pomocí iontového zdroje pro usazování vrstev, speciálně navrženou pro vícevrstvé přesné optické vrstvy za účelem dosažení vysoké rovnoměrnosti, vysoké čistoty a vysoké přesnosti usazování optických vrstev.

Klíčová technologie

■ Dvourežimový monitoring tloušťky vrstvy (krystalový/optický), plně automatické uzavřené řízení zpětnou vazbou

■ Vertikální integrovaná konstrukce, malá plocha zabraného prostoru a snadná obsluha

■ Usazování s pomocí iontového zdroje, hustá a pevná vrstva

■ Ruční / plně automatický dvourežimový provoz, vhodné jak pro výzkum a vývoj, tak pro sériovou výrobu

Jádrová výhody

■ Importní systém pro monitorování tloušťky vrstvy, přesnost řízení tloušťky ≤ ±1 %, vynikající opakovatelnost celého vrstveného systému

■ Předčištění pomocí iontového zdroje, výrazně zlepšená adheze vrstvy k podkladu

■ Vysokovakuové prostředí, žádné nečistoty ve vrstvě, 100% míra souladu s požadavky na optický výkon

■ Kompatibilita s různými procesy nanesení vrstev, vysoká adaptabilita procesu

Základní konfigurace

Model	CCZK-1350-OGS	CCZK-1600-OGS	CCZK-2050-OGS
Chamber size	D1350 mm × V1350 mm	D1600 mm × V1500 mm	D2050 mm × V1600 mm
Power Load	67KW	86kW	105KW
Plocha pro přistání	D5700 mm × Š4900 mm × V3050 mm	D6800 mm × Š5800 mm × V6780 mm	D8300 mm × Š7000 mm × V4200 mm
Povlakové fólie	AR protizářivá fólie, AF protiprstová fólie, vysoce odrazivá fólie, filtrůvá fólie, BBAR širokopásmová protizářivá fólie; tvrdost AF fólie ≥6H, optická fólie je hustá a bez pinholů
Vakuový systém	Difúzní vývěva / turbomolekulární vývěva + zvyšovací vývěva + rotační lopatková vývěva + udržovací vývěva (kryogenní vývěva a polycold jsou volitelné)
Konečný systém	5*10^-4Pa (čistá a prázdná komora)
Rotační systém	Planetární rotace a revoluce 6 / 8 / 10 / 12 / 16 os

Nátěrový systém	Elektrický svazek typu E Hallův iontový zdroj Distribuovaná plynová cesta s MFC CTM ^®Monitor tloušťky křemenného krystalu


Napájení	Zdroj elektrického svazku Plazmové napájení
Operační systém	Plně automatický systém (IPC/PLC) + dálkový provoz + poplachový systém (K dispozici protokol propojení OPC-UA)

Poznámka	Konkrétní rozměry konfigurace lze navrhnout podle požadavků zákazníka na povlakové výrobky

Aplikace

Široce používaný v objektivech mobilních telefonů, optických čočkách, brýlových čočkách, displejovém skle pro automobily, optických komponentách pro virtuální a rozšířenou realitu (VR/AR) a přesných filtrech; umožňuje vytvořit přesnou a rovnoměrnou vrstvu s bohatými efekty.