Máquina de Revestimento a Vácuo PVD de Precisão Óptica

Programação de Sistema de Filmes Multicamadas
Corrente Controlável do Feixe da Pistola de Elétrons
Monitoramento da Espessura do Filme por Cristal de Quartzo

Introdução

Adota tecnologia composta de evaporação por feixe de elétrons/esputtering por magnetron com deposição assistida por fonte de íons, especialmente projetada para filmes ópticos de precisão multicamada, a fim de alcançar alta uniformidade, alta pureza e deposição de filmes ópticos de alta precisão.

Tecnologia de base

■ Monitoramento de espessura de filme em modo duplo (cristal/óptico), controle em malha fechada totalmente automático

■ Estrutura integrada vertical, pequena área de ocupação e operação fácil

■ Deposição assistida por fonte de íons, filme denso e resistente

■ Modo dual manual/totalmente automático, adequado tanto para P&D quanto para produção em massa

Principais Vantagens

■ Sistema importado de monitoramento de espessura de filme, precisão de controle de espessura ≤±1%, excelente repetibilidade do sistema de filmes

■ Pré-limpeza com fonte de íons, aderência filme-substrato significativamente melhorada

■ Ambiente de alto vácuo, sem impurezas no filme, taxa de conformidade de desempenho óptico de 100%

■ Compatível com diversos processos de revestimento, alta adaptabilidade de processo

Configuração básica

Modelo	CCZK-1350-OGS	CCZK-1600-OGS	CCZK-2050-OGS
Tamanho da Câmera	D1350 mm × A1350 mm	D1600 mm × A1500 mm	D2050 mm × A1600 mm
Power Load	67KW	86kW	105 kW
Área de Aterrissagem	C5700 mm × L4900 mm × A3050 mm	C6800 mm × L5800 mm × A6780 mm	C8300 mm × L7000 mm × A4200 mm
Filmes de Revestimento	Filme antirreflexo (AR), filme antipoeira (AF), filme de alta reflexão, filme filtro, filme antirreflexo de banda larga (BBAR); dureza do filme AF ≥ 6H, filme óptico denso e isento de poros
Sistema de vácuo	Bomba de difusão / bomba molecular turbo + bomba de reforço + bomba de paletas rotativas + bomba de retenção (bomba criogênica e polycold são opcionais)
Sistema definitivo	5*10^-4Pa (Câmara limpa e vazia)
Sistema de rotação	Rotação e revolução planetárias 6 / 8 / 10 / 12 / 16 eixos

Sistema de Revestimento	Feixe Elétrico do Tipo E Fonte de Íons de Hall Caminho de Gás com MFC Distribuído CTM ^®Monitor de Espessura de Cristal de Quartzo


Fonte de Alimentação	Fonte de Alimentação para Feixe Elétrico Fornecimento de energia por plasma
Sistema Operacional	Totalmente automático (IPC/PLC) + Operação Remota + Sistema de Alarme (Protocolo de ligação OPC-UA disponível)

Observação	O tamanho da configuração específica pode ser projetado conforme os requisitos do cliente quanto ao produto a ser revestido

Aplicação

Amplamente utilizado em lentes de câmeras para telefones celulares, lentes ópticas, lentes para óculos, vidros para displays automotivos, componentes ópticos para RV/RA e filtros de precisão, sendo capaz de formar uma camada fina precisa e uniforme, com efeitos ricos.