Optical na Precision na PVD na Vacuum Coating Machine

Pagsasagawa ng Programa para sa Sistema ng Maramihang Pelikula
Kontroladong Kasalukuyang Daloy ng Sinag ng Electron Gun
Pantay na Pagsubaybay sa Kapal ng Pelikula Gamit ang Quartz Crystal

Panimula

Ginagamit ang teknolohiyang komposit na electron beam evaporation/magnetron sputtering kasama ang ion source-assisted deposition, na idinisenyo nang espesyal para sa mga multi-layer na presisyong optical film upang makamit ang mataas na pagkakapareho, mataas na kalinisan, at mataas na presisyong pag-deposito ng optical film.

Pangunahing teknolohiya

■ Dalawang-mode na pagsubaybay sa kapal ng pelikula (kristal/optikal), buong awtomatikong closed-loop na kontrol

■ Vertical na integrated na istruktura, maliit na lugar na kailangan at madaling gamitin

■ Deposisyon na may tulong ng ion source, makapal at matibay na pelikula

■ Dalawang mode—manu-manong at buong awtomatiko—para sa parehong pananaliksik at pag-unlad (R&D) at pangmasang produksyon

Core Advantages

■ Iminportang sistema ng pagsubaybay sa kapal ng pelikula, kahusayan ng kontrol sa kapal ay ≤±1%, napakahusay na pag-uulit ng sistema ng pelikula

■ Pre-cleaning gamit ang ion source, malaki ang pagpapabuti sa pagkakadikit ng pelikula sa substrate

■ Mataas na vacuum na kapaligiran, walang mga dumi sa pelikula, 100% na rate ng pagkakasunod sa optical performance

■ Compatible sa iba’t ibang proseso ng pag-coat, malakas na kakayahang umangkop sa proseso

Pangunahing configuration

Modelo	CCZK-1350-OGS	CCZK-1600-OGS	CCZK-2050-OGS
Laki ng Chamber	D1350mm*H1350mm	D1600mm*H1500mm	D2050mm * H1600mm
Power Load	67KW	86kW	105kw
Landing Area	L5700mm * W4900mm * H3050mm	L6800mm * W5800mm * H6780mm	L8300mm * W7000mm * H4200mm
Mga Pelikulang Patong	Pelikulang AR na pambabawas ng pagmumuni-muni, pelikulang AF na pambabawas ng bakas ng daliri, pelikulang may mataas na pagmumuni-muni, pelikulang filter, pelikulang BBAR na pambabawas ng pagmumuni-muni sa malawak na banda; kahigpit ng pelikulang AF ≥6H, ang pelikulang optikal ay siksik at walang butas na tulad ng karayom
Sistema ng vacuum	Diffusion pump / Turbo molecular pump + Booster pump + Rotary vane pump + Holding pump (cryogenic pump at polycold ay opsyonal)
Ultimate system	5*10^-4Pa (Linis at walang laman na chamber)
Sistema ng pag-ikot	Pansariling pag-ikot at pag-ikot sa paligid 6/8/10/12/16 na aksis

Sistema ng Paglalapat	E-type na Electric Beam Hall Ion Source Distributed MFC gas path CTM ^®Monitor ng Kapal ng Kristal na Quartz


Supply ng Kuryente	Electric beam power supply Mga suplay ng kuryente ng plasma
Sistema ng Operasyon	Buong awtomatiko (IPC/PLC) + Operasyon na pampagtago + Sistema ng alarm (Available ang OPC-UA Link protocol)

Tala	Ang tiyak na sukat ng konpigurasyon ay maaaring idisenyo batay sa mga kinakailangan ng customer para sa kanilang mga produktong may coating

Aplikasyon

Malawakang ginagamit sa mga lens ng camera ng mobile phone, optical lenses, lens ng salaming pangmata, automotive display glass, mga optical component ng VR/AR, at mga precision filter, at kayang bumuo ng isang tiyak at pantay na film layer na may mayamang epekto.