Optiskt precisions-PVD-vakuumbelägningsmaskin

Programmeringssystem för flerskiktsfilm
Reglerbar strömmen i elektronkanonens stråle
Kvarts-kristallövervakning av filmtjocklek

Introduktion

Använder elektronstråleavdunstning/magnetron-sputtringskompositteknik med jonkällstödd avsättning, särskilt utformad för flerskikts precisionsoptiska filmer för att uppnå hög enhetlighet, hög renhet och högprecision i optisk filmavsättning.

Grundteknik

■ Övervakning av filmtjocklek i dubbelmodus (kristall/optisk), fullt automatisk sluten styrloop

■ Vertikal integrerad konstruktion, liten installationsyta och enkel drift

■ Avsättning med jonkälla som hjälpmedel, tät och fast film

■ Manuell/fullautomatisk dubbelmodus, lämplig både för forskning och utveckling samt massproduktion

Kärnfördelar

■ Importerat system för övervakning av filmtjocklek, noggrannhet i tjockleksstyrning ≤ ±1 %, utmärkt upprepbarhet för filmsystemet

■ Förrengöring med jonkälla, avsevärt förbättrad fästning mellan film och substrat

■ Högvakuummiljö, inga orenheter i filmen, 100 % efterlevnad av optisk prestanda

■ Kompatibel med olika beläggningsprocesser, stark anpassningsförmåga till olika processer

Grundkonfiguration

Modell	CCZK-1350-OGS	CCZK-1600-OGS	CCZK-2050-OGS
Kammarstorlek	D1350 mm × H1350 mm	D1600 mm × H1500 mm	D2050 mm × H1600 mm
Power Load	67KW	86 kW	105KW
Landningsyta	L5700 mm × B4900 mm × H3050 mm	L6800 mm × B5800 mm × H6780 mm	L8300 mm × B7000 mm × H4200 mm
Omfärgningslager	AR-antireflektionsfilm, AF-antifingeravtrycksfilm, högreflekterande film, filterfilm, BBAR-bredbandig antireflektionsfilm; AF-films hårdhet ≥6H, optisk film är tät och utan pinholer
Vakuumsystem	Diffusionspump/turbo-molekylär pump + förstärkarpump + rotationsvanespump + hållpump (kryopump och polycold är valfritt)
Ultimat system	5*10^-4Pa (ren och tom kammare)
Rotationssystem	Planetarisk rotation och revolution 6/8/10/12/16 axlar

Beläggningssystem	E-typ elektronstråle Hall-jonkälla Distribuerad MFC-gasväg CTM ^®Tjockleksmonitor för kvartskristaller


Strömförsörjningsaggregat	Elströmförsörjning för stråle Plasmakraftförsörjning
Operativsystem	Fullt automatiskt (IPC/PLC) + Fjärrdrift + Larmsystem (OPC-UA-länkprotokoll tillgängligt)

Kommentar	Den specifika konfigurationsstorleken kan anpassas enligt kundens krav på beläggningsprodukter

Ansökan

Används allmänt i mobiltelefonkamerakameror, optiska linser, glasögonlinser, bilens displayglas, VR/AR-optiska komponenter och precisionsfilter samt kan bilda ett exakt och enhetligt filmskikt med rika effekter.