Оптичка прецизна ПВД вакуумска машина за премазивање

Програмски систем вишеслојног филма
Контролисана струја зрака електронског пиштоља
Контрола дебљине кварц кристалне филме

Uvod

Узима технологију композитног испаравања електронских зрака/магнетронског путрирања са асистираним депонирањем јонског извора, посебно дизајниран за вишеслојне прецизне оптичке филмове како би се постигла висока униформитетност, висока чистота и прецизна оптичка депонирање фил

Основна технологија

■ Дворежимски мониторинг дебелине филма (кристално/оптично), потпуно аутоматска контрола затвореног циклуса

■ Вертикална интегрисана структура, мали отпечатак и лако управљање

■ Депозиција поддржана јонским извора, густа и чврста филмова

■ Ручни/потпуно аутоматски двоструки режим, за истраживање и развој и за масовну производњу

КОРЕВНЕ ПРЕДЛУГЕ

■ Импортирани систем за праћење дебљине филма, тачност контроле дебљине ≤±1%, одлична понављаност система филма

■ Пречишћење са јонским извора, значајно побољшана адхезија филма-субстрата

■ Висока вакуумска средина, нема нечистоћа у филму, 100% стопа усаглашености оптичких перформанси

■ Компатибилан са различитим процесима премаза, јака прилагодљивост процеса

Основна конфигурација

Model	ЦЦЗК-1350-ОГС	Уколико је потребно, уколико је потребно, уколико је потребно, уколико је потребно, уколико је потребно, уколико је потребно, уколико је потребно, уколико је потребно.	Уколико је потребно, уколико је потребно, уколико је потребно, уколико је потребно, уколико је потребно, уколико је потребно, уколико је потребно, уколико је потребно.
Величина коморе	Д1350мм*Х1350мм	Д1600мм*Х1500мм	Д2050мм*Х1600мм
Power Load	67КВ	86КВ	105КВт
Пољоприземље	Л5700ммВ4900ммХ3050мм	Л6800ммВ5800ммХ6780мм	Л8300ммВ7000ммХ4200мм
Филмови за премазивање	АР антирефлексивни филм, АФ антиотпечатак филм, филм са високом рефлексијом, филтерски филм, ББАР широкопојасни антирефлексивни филм; Тврдоћа АФ филма ≥6Х, оптички филм је густ и без дупка
Вакуумски систем	Дифузијска пумпа/Турбо молекуларна пумпа +Пустер пумпа + Ротациона пумпа+Трпивна пумпа ((криогенска пумпа и полицолд је неопходно)
Ултимативни систем	5*10^-4Па ((Чиста и празна комора)
Ротациони систем	Планетарна ротација и револуција оси 6/8/10/12/16

Sistem za premazivanje	Електрична зрачка типа Е Извор јона Холла Дистрибуиран пут МФЦ гаса ЦТМ ^®Кварц Кристал Дебљина Монитор


Снабдевање струјом	Електрична напајање зрака Plazmeni snabdevač
Оперативни систем	Потпуно аутоматски ((IPC/PLC) + Даљински рад + Аларман систем (Протокол ОПЦ-УА линк доступан)

Napomena	Величина специфичне конфигурације може се дизајнирати у складу са захтевима производа за премазивање клијента

Primena

Широко се користи у објективима камера мобилног телефона, оптичким објективима, објективима наочара, аутомобилским екранима, ВР / АР оптичким компонентама и прецизним филтерима, и може формирати прецизан и униформан слој филма са богатим ефектима.