Оптична прецизна машина за вакуумно напръскване с PVD

Програмиране на многослойна филмова система
Контролируем ток на електронната оръдейна струя
Мониторинг на дебелината на филма чрез кварцов кристал

Въведение

Използва комбинирана технология за изпаряване с електронен лъч/магнетронно разпрашване с подпомагано от йонен източник нанасяне, специално проектирана за многослойни прецизни оптични филми, за постигане на висока равномерност, висока чистота и висока прецизност при нанасянето на оптични филми.

Основни технологии

■ Двумодов мониторинг на дебелината на филма (кристален/оптичен), напълно автоматичен затворен контур за управление

■ Вертикална интегрирана конструкция, малка заемана площ и лесна експлоатация

■ Нанасяне с подпомагане от йонен източник, плътен и здрав филм

■ Ръчен/пълноавтоматичен двумодов режим, подходящ както за научни изследвания и разработки, така и за серийно производство

Основни предимства

■ Импортирана система за мониторинг на дебелината на филма, точност на контрола на дебелината ≤±1 %, отлично повторяемост на филмовата система

■ Предварително почистване с йонен източник, значително подобрява адхезията между филма и субстрата

■ Високовакуумна среда, без примеси във филма, 100 % съответствие на оптическите характеристики

■ Съвместимост с различни процеси за нанасяне на покрития, висока технологична адаптивност

Основна конфигурация

Модел	CCZK-1350-OGS	CCZK-1600-OGS	CCZK-2050-OGS
Размер на камерата	D1350 mm × H1350 mm	D1600 mm × H1500 mm	D2050 мм * В1600 мм
Power Load	67KW	86 kW	105KW
Площ за кацане	Д5700 мм * Ш4900 мм * В3050 мм	Д6800 мм * Ш5800 мм * В6780 мм	Д8300 мм * Ш7000 мм * В4200 мм
Филми за покритие	АР филм срещу отражение, АФ филм срещу отпечатъци от пръсти, филм с висока отразяваща способност, филтър филм, BBAR широколентов АР филм; твърдост на АФ филма ≥6H, оптичен филм – плътен и без иглени дупки
Вакуумна система	Дифузионна помпа / Турбомолекулярна помпа + Усилваща помпа + Ротационна пластинчата помпа + Задържаща помпа (криогенна помпа и поликолд са опционални)
Крайна система	5*10^-4Pa (почистване и изпразване на камерата)
Ротационна система	Планетарно въртене и революция 6 / 8 / 10 / 12 / 16 оси

Система за покритие	Електрическа греда от тип Е Хол-йонен източник Разпределена газова линия с MFC CTM ^®Монитор на дебелината на кварцовия кристал


Енергиен източник	Захранващо устройство за електрическа греда Плазмено напаяне
Операционна система	Пълна автоматизация (IPC/PLC) + Дистанционно управление + Система за аларми (Достъпен е протоколът за връзка OPC-UA)

Забележка	Конкретните размери на конфигурацията могат да се проектират според изискванията на клиента относно нанасяните покрития

Приложение

Широко използван в обективи за мобилни телефони, оптични обективи, очила, автомобилно дисплейно стъкло, оптични компоненти за VR/AR и прецизни филтри и може да формира прециозен и равномерен филмов слой с богат ефект.