מכונת קיטוב וקיטום וואקום PVD אופטימלית

תכנות מערכת סרטים מרובה שכבות
זרם קרן אלקטרונים נשלט
מערכת ניטור עובי סרט באמצעות גביש קוורץ

מבוא

מאמץ טכנולוגיית שילוב של אידוי קרן אלקטרונים/הטסה מגנטונית עם שיקוע מסייע על ידי מקור יונים, מעוצבת במיוחד לסרטים אופטיים מדויקים רב-שכבות כדי להשיג אחידות גבוהה, טהרה גבוהה ודיוק גבוה בשיקוע הסרט האופטי.

טכנולוגיה מרכזית

■ מערכת ניטור כפולה לעובי סרט (קריסטל/אופטי), בקרה אוטומטית מלאה במגעה סגורה

■ מבנה מאונך משולב, שטח תפוסה קטן ותפעול קל

■ שיקוע עם מקור יונים, סרט צפוף ויציב

■ מצב ידני/אוטומטי מלא, מתאים הן למחקר ופיתוח והן לייצור המוני

היתרים עיקריים

■ מערכת ניטור עובי סרט מיובאת, דיוק בקרת העובי ≤±1%, חוזק גבוה של חזרתיות מערכת הסרטים

■ ניקוי מוקדם בעזרת מקור יונים, שיפור משמעותי בהדבקת הסרט לתחתית

■ סביבת ואקום גבוהה, ללא זרבים בסרט, שיעור התאמה של ביצועים אופטיים – 100%

■ תאימה לתהליכי שיפוץ מגוונים, התאמות תהליכיות חזקות

תצורה בסיסית

דגם	CCZK-1350-OGS	CCZK-1600-OGS	CCZK-2050-OGS
גודל מחדר	קוטר 1350 מ"מ × גובה 1350 מ"מ	קוטר 1600 מ"מ × גובה 1500 מ"מ	קוטר 2050 מ״מ × גובה 1600 מ״מ
עומס הספק	67KW	86 קילוואט	105KW
אזור נחיתה	אורך 5700 מ״מ × רוחב 4900 מ״מ × גובה 3050 מ״מ	אורך 6800 מ״מ × רוחב 5800 מ״מ × גובה 6780 מ״מ	אורך 8300 מ״מ × רוחב 7000 מ״מ × גובה 4200 מ״מ
שכבות כיסוי	סרט נגד השתקפות (AR), סרט נגד טביעות אצבע (AF), סרט עתיר השתקפות, סרט מסנן, סרט נגד השתקפות רחב-פס (BBAR); קשיחות הסרט AF ≥6H, סרט אופטי צפוף וחף מחורים
מערכת וואקום	משאבת דיפוזיה‏/משאבת מולקולרית טורבו + משאבת עזרה + משאבת סיבובית + משאבת אחיזה (משאבת קריר ומערכת Polycold הן אופציונליות)
מערכת אולטימטיבית	5*10^-4Pa (ניקוי וחיסול תאי)
מערכת סיבוב	סיבוב ותנועה מסיבית של הכוכב 6‏/8‏/10‏/12‏/16 צירים

מערכת ציפוי	קרן חשמלית מסוג E מקור יונים מהסוג הול נתיב גז MFC מופץ CTM ^®מוניטור עובי גביש קוורץ


ספק כוח	ספק כוח לקרן חשמלית ספק כוח לפלזמה
מערכת הפעלה	אוטומציה מלאה (מחשב תעשייתי / שליטה לוגית מתוכנתת) + תפעול מרחוק + מערכת התראות (פרוטוקול קישור OPC-UA זמין)

הערה	גודל הتكوين הספציפי ניתן לעיצוב בהתאם לדרישות הלקוח למכסה המבוקש

יישום

משתמשים בו באופן רגיל בעדשות מצלמה לטלפונים ניידים, עדשות אופטיות, עדשות משקפיים, זכוכית תצוגה לרכב, רכיבים אופטיים ל-VR/AR ומסננים מדויקים, והוא מסוגל ליצור שכבת סרט דקה ואחדנית עם אפקטים עשירים.