Optik Dəqiqlik PVD Vakuum Qurğusu

Çoxqatlı film sistemi proqramlaşdırılması
Nəzarət olunan elektron top atəşi cərəyanı
Qvars kristalı ilə film qalınlığının monitorinqi

Giriş

Çoxqatlı dəqiq optik film üçün xüsusi olaraq hazırlanmış, yüksək bərabərliyi, yüksək təmizliyi və yüksək dəqiqlikli optik film çökməsini təmin edən ion mənbəyi köməkli çökmə ilə elektron şüa buxarlanması/maqnitron sputterinq kompozit texnologiyasından istifadə edir.

اساس تکنولوژی

■ İkili rejimli film qalınlığının monitorinqi (kristal/optik), tam avtomatik qapalı döngə idarəetməsi

■ Şaquli inteqrasiya olunmuş struktura, kiçik yer tutumu və asan istismar

■ İon mənbəyi ilə kömək olunan çöküntü, sıx və möhkəm film

■ Əl ilə idarə olunan/tam avtomatik ikili rejim: həm tədqiqat və inkişaf, həm də kütləvi istehsal üçün

Əsas üstünlüklər

■ İdxal edilmiş film qalınlığının monitorinq sistemi; qalınlıq nəzarəti dəqiqliyi ≤±1 %, mükəmməl film sistemi təkrarlanma qabiliyyəti

■ İon mənbəyi ilə əvvəlcədən təmizləmə, film-altlıq yapışqanlığı əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdırılmışdır

■ Yüksək vakuum mühiti, filmdə heç bir qarışıq yoxdur, 100 % optik performans uyğunluq dərəcəsi

■ Müxtəlif örtük prosesləri ilə uyğunluq, güclü proses uyğunluğu

Əsas konfiqurasiya

Model	CCZK-1350-OGS	CCZK-1600-OGS	CCZK-2050-OGS
Komora ölçüsü	D1350 mm * H1350 mm	D1600 mm * H1500 mm	D2050 mm * H1600 mm
Güc yükü	67KVt	86 kW	105kw
Qoşulma sahəsi	U5700 mm * E4900 mm * H3050 mm	U6800 mm * E5800 mm * H6780 mm	U8300 mm * E7000 mm * H4200 mm
Örtük filmi	AR (qayıdan işığı azaldan) film, AF (barmaq izlərini azaldan) film, yüksək qayıdan işıq filmi, süzgəc filmi, BBAR (geniş zolaqlı qayıdan işığı azaldan) film; AF filmi sərtliyi ≥6H, optik film sıx və dəliksizdir
Vakuum sistemi	Difuziya nasosu / Turbo molekulyar nasos + Gücləndirici nasos + Döner vallı nasos + Saxlayan nasos (kriogen nasos və polikold isteğe bağlıdır)
Nəhayət Sistem	5*10^-4Pa (Təmiz və boş kamera)
Fırlanma Sistemi	Planet dönməsi və fırlanması 6/8/10/12/16 oxlu

Örtük Sistemi	E-tipi Elektrik şüası Holl ion mənbəyi Paylanmış MFC Qaz Yolu CTM ^®Kvarts Kristal Qalınlığı Monitoru


Güc təchizatı	Elektrik şüası enerjisi təchizatı Plazma elektrik mənbəsi
Əməliyyat Sistemi	Tam avtomatik (İPU/PLC) + Uzaqdan idarəetmə + Xəbərdarlıq sistemi (OPC-UA bağlantı protokolu mövcuddur)

Qeyd	Xüsusi konfiqurasiya ölçüsü müştərinin örtük məhsullarına dair tələblərinə uyğun olaraq hazırlanabilir

Tətbiq

Mobil telefon kamerası lenslərində, optik lenslərdə, gözlük lenslərində, avtomobil ekran şüşəsində, VR/AR optik komponentlərində və dəqiq filtrlərdə geniş istifadə olunur; zəngin effektlərə malik dəqiq və bərabər qat yaratmağa imkan verir.