Mașină optică de învelire în vid cu depunere prin pulverizare catodică (PVD) de precizie

Programare sistem film multi-strat
Curent reglabil al fasciculului de electroni din pistoletul electronic
Monitorizare a grosimii filmului cu cristal de cuarț

Introducere

Adoptă tehnologia compozită de evaporare cu fascicul electronic/sputterizare magnetron, cu depunere asistată de sursă de ioni, special concepută pentru filme optice multipstrat de înaltă precizie, pentru a obține o uniformitate ridicată, o puritate ridicată și o depunere precisă a filmelor optice.

Tehnologie de bază

■ Monitorizare duală a grosimii filmului (cristalină/optică), control în buclă închisă complet automatizat

■ Structură integrată verticală, amprentă redusă și operare ușoară

■ Depunere asistată de sursă de ioni, film dens și rezistent

■ Mod dual manual/total automatizat, potrivit atât pentru cercetare și dezvoltare, cât și pentru producția de masă

Avantaje Principale

■ Sistem importat de monitorizare a grosimii filmului, precizie de control a grosimii ≤±1%, repetabilitate excelentă a sistemului de film

■ Curățare preliminară cu sursă de ioni, aderență semnificativ îmbunătățită între film și substrat

■ Mediu de vid înalt, fără impurități în film, rată de conformitate de 100% privind performanța optică

■ Compatibil cu diverse procese de acoperire, adaptabilitate ridicată la procese

Configurație de bază

Model	CCZK-1350-OGS	CCZK-1600-OGS	CCZK-2050-OGS
Dimensiunea camerei	D1350 mm × Î1350 mm	D1600 mm × Î1500 mm	D2050 mm × Î1600 mm
Încărcare puternică	67KW	86 kW	105kw
Zona de aterizare	L5700 mm × l4900 mm × Î3050 mm	L6800 mm × l5800 mm × Î6780 mm	L8300 mm × l7000 mm × Î4200 mm
Filme de acoperire	Film AR antireflex, film AF antiamprentă, film cu reflexie ridicată, film filtru, film antireflex pe bandă largă (BBAR); duritatea filmului AF ≥6H, filmul optic este dens și fără pori
Sistem de vacuu	Pompă de difuzie / pompă moleculară turbo + pompă de întărire + pompă cu palete rotative + pompă de reținere (pompă criogenică și sistem Polycold sunt opționale)
Sistem suprem	5*10^-4Pa (Camera curată și goală)
Sistemul de rotație	Rotație și revoluție planetară 6 / 8 / 10 / 12 / 16 axe

Sistem de Acoperire	Fascicul electric de tip E Sursă de ioni Hall Traseu gaz MFC distribuit CTM ^®Monitor de grosime a cristalului de cuarț


Sursă de Alimentare	Sursă de alimentare pentru fascicul electric Sursa de alimentare a plasmei
Sistem de operare	Total automatizat (IPC/PLC) + Operare la distanță + Sistem de alarmă (Protocolul de legătură OPC-UA este disponibil)

Observație	Dimensiunea configurației specifice poate fi proiectată în funcție de cerințele clientului privind produsul de acoperire

Aplicație

Folosit pe scară largă în obiectivele pentru telefoane mobile, lentile optice, lentile pentru ochelari, sticlă pentru afișaje auto, componente optice pentru realitate virtuală/realitate augmentată și filtre de precizie, putând forma un strat subțire precis și uniform cu efecte bogate.