Optikai pontosságú PVD vákuumbevonó gép

Többrétegű fóliarendszer programozása
Szabályozható elektronágyú sugáráram
Kvarckristályos rétegvastagság-mérés

Bevezetés

Elektroncsóvas párologtatás/magnetronos szórás összetett technológiáját alkalmazza ionforrás-vezérelt lerakással, különösen a többrétegű, nagy pontosságú optikai rétegekhez tervezték, hogy magas egyenletességet, magas tisztaságot és nagy pontosságú optikai réteglerakást érjen el.

Alaptechnológia

■ Kétfázisú rétegvastagság-ellenőrzés (kristályos/optikai), teljesen automatikus zárt hurkos szabályozás

■ Függőleges integrált szerkezet, kis helyigény és egyszerű kezelhetőség

■ Ionforrásos segédlettel történő lerakás, sűrű és erős réteg

■ Kézi/teljesen automatikus kétfázisú mód, fejlesztési és tömeggyártási célokra egyaránt alkalmas

Fő Előnyök

■ Importált rétegvastagság-ellenőrző rendszer, rétegvastagság-szabályozási pontosság ≤±1 %, kiváló ismételhetőség a rétegrendszerben

■ Ionforrással történő előtisztítás, jelentősen javított réteg–alapanyag tapadás

■ Nagy vákuumos környezet, a rétegben nincsenek szennyeződések, 100 %-os optikai teljesítmény-megfelelési arány

■ Kompatibilis különféle bevonási eljárásokkal, erős folyamathoz igazíthatóság

Alapösszetétel

Modell	CCZK-1350-OGS	CCZK-1600-OGS	CCZK-2050-OGS
Kameralap mérete	Átmérő 1350 mm × Magasság 1350 mm	Átmérő 1600 mm × Magasság 1500 mm	Átmérő 2050 mm × Magasság 1600 mm
Töltött Hordozás	67KW	86 kW	105 kW
Leszállási terület	Hossz 5700 mm × Szélesség 4900 mm × Magasság 3050 mm	Hossz 6800 mm × Szélesség 5800 mm × Magasság 6780 mm	Hossz 8300 mm × Szélesség 7000 mm × Magasság 4200 mm
Bevonati filmek	AR (antireflexiós) fólia, AF (ujjlenyomat-ellenes) fólia, nagyvisszaverő fólia, szűrőfólia, BBAR (széles sávú antireflexiós) fólia; az AF fólia keménysége ≥6H, az optikai fólia sűrű és lyukmentes
Vákuumrendszer	Difúziós szivattyú / turbomolekuláris szivattyú + segédszivattyú + forgólapátos szivattyú + tartós szivattyú (kriogén szivattyú és polycold szivattyú opcionális)
Végleges rendszer	5*10^-4Pa (tiszta és üres kamra)
Forgó rendszer	Bolygókeringés és -forgás 6/8/10/12/16 tengely

Bevonatrendszer	E-típusú elektromos sugár Hall-ionforrás Elosztott MFC gázvezeték CTM ^®Kvarckristály-vastagság-mérő


Tápegység	Elektromos sugár tápegysége Plazma áramforrás
Működési Rendszer	Teljesen automatizált (IPC/PLC) + Távoli működtetés + Riasztórendszer (OPC-UA kapcsolati protokoll elérhető)

Megjegyzés	A konkrét konfigurációs méret az ügyfél bevonási termékeire vonatkozó igényei alapján tervezhető

Alkalmazás

Széles körben használják mobiltelefon-kameralencsék, optikai lencsék, szemüveglencsék, autóipari kijelzőüvegek, VR/AR optikai alkatrészek és precíziós szűrők gyártásához, és pontos, egyenletes réteget képeznek gazdag hatásokkal.