دستگاه پوشش‌دهی خلأ PVD با پاشش مغناطیسی

هسته هدف با سیستم خنک‌کننده غیرمستقیم
میدان مغناطیسی بسته نامتعادل
کاتد صفحه‌ای/استوانه‌ای قابل انتخاب

معرفی

از فناوری پاشش مغناطیسی صفحه‌ای/چرخشی استفاده می‌کند و قادر به رسوب‌گذاری لایه‌های فلزی و ترکیبی متراکم و یکنواخت است؛ این فناوری برای انواع زیرلایه‌ها و شرایط مختلف مناسب است.

فناوری هسته‌ای

■ اهداف صفحه‌ای/چرخشی اختیاری، سازگاری بالا

■ کنترل کاملاً خودکار با PLC، راه‌اندازی آسان

■ قابلیت پوشش‌دهی تک‌لایه/چندلایه، کیفیت فیلم خالص

■ مناسب برای قطعات کار بزرگ/کوچک و اشکال خاص

مزایای اصلی

■ فیلم متراکم و یکنواخت با چسبندگی قوی

■ فرآیند پایدار با تکرارپذیری عالی

■ پوشش‌دهی در دمای پایین، بدون آسیب به زیرلایه‌های حساس به حرارت

■ بهره‌وری بالا از هدف، هزینه نگهداری پایین

پیکربندی پایه

مدل	CCZK-700-SF	CCZK-1012-SF	CCZK-1416-SF	CCZK-1618-SF	CCZK-1820-SF
اندازه حجره	D700mm*H700mm	قطر ۱۰۰۰ میلی‌متر × ارتفاع ۱۲۰۰ میلی‌متر	قطر ۱۴۰۰ میلی‌متر × ارتفاع ۱۶۰۰ میلی‌متر	قطر ۱۶۰۰ میلی‌متر × ارتفاع ۱۸۰۰ میلی‌متر	قطر ۱۸۰۰ میلی‌متر × ارتفاع ۲۰۰۰ میلی‌متر
بارگذاری قدرتمند	58kw	75کوو	۱۷۵کو	230 کیلووات	255کیلووات
منطقه فرود	طول ۴۲۰۰ میلی‌متر × عرض ۴۲۰۰ میلی‌متر × ارتفاع ۲۳۰۰ میلی‌متر	طول ۵۴۰۰ میلی‌متر × عرض ۵۲۰۰ میلی‌متر × ارتفاع ۲۹۰۰ میلی‌متر	طول ۶۱۵۵ میلی‌متر × عرض ۵۰۵۰ میلی‌متر × ارتفاع ۳۲۱۰ میلی‌متر	طول ۶۵۰۰ میلی‌متر × عرض ۴۷۵۰ میلی‌متر × ارتفاع ۳۲۰۰ میلی‌متر	طول ۷۸۰۰ میلی‌متر × عرض ۵۲۰۰ میلی‌متر × ارتفاع ۲۶۰۰ میلی‌متر
رنگ‌های پوششی	طلایی، نقره‌ای، مشکی اسلحه‌ای، طلای رز، آبی، خاکستری، شفاف
فیلم‌های پوشش‌دهنده	پوشش فلزی خالص، پوشش آلیاژی، پوشش ترکیبی؛ سختی ۵۰۰ تا ۳۰۰۰ HV، متراکم و مقاوم در برابر سایش
سیستم خلاء	پمپ انتشاری / پمپ مولکولی توربو + پمپ تقویت‌کننده + پمپ صفحه‌ای چرخان + پمپ نگهدارنده (پمپ کریوژنیک و پلی‌کلد اختیاری هستند)
خالص خلاء	۵ × ۱۰ ^-4پاسکال (اتاق تمیز و خالی)
سیستم چرخش	چرخش و دوران سیاره‌ای ۶ / ۸ / ۱۰ / ۱۲ / ۱۶ محور

سیستم پوشش دهی	CKB ^®کاتد پاشش صفحه‌ای / CKB ^®کاتد پاشش میله‌ای استوانه‌ای / IET ^®آشکارسازی / مسیر گاز MFC توزیع‌شده / پاشش HIPIMS


منبع تغذیه	منبع تغذیه پاشش جریان مستقیم پالسی / منبع تغذیه پاشش دو قطبی / توان پاشش RF / توان بایاس پالسی / توان HIPIMS / IET ^®توان
سیستم عامل	کاملاً خودکار (با استفاده از IPC/PLC) + عملیات از راه دور + سیستم هشدار (پروتکل ارتباطی OPC-UA در دسترس است)

توضیحات	اندازهٔ پیکربندی خاص می‌تواند مطابق با نیازهای مشتری برای محصولات پوشش‌دهی طراحی شود

کاربرد

در قطعات تزئینی فلزی، شیشه لوازم خانگی، قطعات خودرو، محصولات دیجیتال ۳C، عدسی‌های نوری، شیشه‌های ظروف آرایشی، اجزای نیمه‌هادی، اجزای ابزارهای دقیق و تزئینات هنری لوکس به‌طور گسترده استفاده می‌شود و می‌تواند رنگ‌های غنی‌ای ایجاد کند و لایه‌ای یکنواخت و متراکم تشکیل دهد.