Optik Hassasiyetli PVD Vakum Kaplama Makinesi

Çok Katmanlı Film Sistemi Programlaması
Kontrollü Elektron Topuzu Akımı
Kuvarz Kristali Film Kalınlığı İzleme

Giriş

Çok katmanlı hassas optik filmler için özel olarak tasarlanan, iyon kaynağı destekli biriktirme ile elektron demeti buharlaştırma/manyetron sputterlama kompozit teknolojisi kullanır; yüksek düzgünlük, yüksek saflık ve yüksek hassasiyetli optik film biriktirimi sağlar.

Temel Teknoloji

■ Çift modlu film kalınlığı izleme (kristal/optik), tam otomatik kapalı çevrim kontrol

■ Dikey entegre yapı, küçük ayak izi ve kolay kullanım

■ İyon kaynağı destekli kaplama, yoğun ve sağlam film

■ Manuel/tam otomatik çift mod, hem Ar-Ge hem de seri üretim için uygun

Temel Avantajlar

■ İthal film kalınlığı izleme sistemi, kalınlık kontrol doğruluğu ≤±1%, üstün film sistemi tekrarlanabilirliği

■ İyon kaynağı ile ön temizleme, film-alt tabaka yapışmasında önemli iyileşme

■ Yüksek vakum ortamı, filmden herhangi bir safsızlık içermemesi, %100 optik performans uyumluluk oranı

■ Çeşitli kaplama süreçleriyle uyumlu, güçlü süreç uyarlama yeteneği

Temel yapılandırma

Model	CCZK-1350-OGS	CCZK-1600-OGS	CCZK-2050-OGS
Odalık Boyut	Ç1350 mm × Y1350 mm	Ç1600 mm × Y1500 mm	Çap 2050 mm * Yükseklik 1600 mm
Güç Yüklemesi	67KW	86 kW	105kw
İniş Alanı	Uzunluk 5700 mm * Genişlik 4900 mm * Yükseklik 3050 mm	Uzunluk 6800 mm * Genişlik 5800 mm * Yükseklik 6780 mm	Uzunluk 8300 mm * Genişlik 7000 mm * Yükseklik 4200 mm
Kaplama Filmleri	AR yansıtma önleyici film, AF parmak izi önleyici film, yüksek yansıtma filmi, filtre filmi, BBAR geniş bantlı yansıtma önleyici film; AF filminin sertliği ≥6H, optik film yoğun ve iğne deliği içermeyen yapıdadır
Vakum sistemi	Difüzyon pompası / Turbo moleküler pompası + Takviye pompası + Döner paletli pompası + Tutma pompası (kriyojenik pompa ve polikold isteğe bağlıdır)
En üst düzey sistem	5*10^-4Pa (Temiz ve boş kabin)
Rotasyon sistemi	Gezegenin dönme ve dolanma hareketi 6/8/10/12/16 eksenli

Kaplama Sistemi	E-tipi Elektrik Işını Hall İyon Kaynağı Dağıtılmış MFC Gaz Yolu CTM ^®Kuvarz Kristal Kalınlık Monitörü


Güç Kaynağı	Elektrik ışını güç kaynağı Plazma gücü kaynağı
İşletim Sistemi	Tam otomatik (IPC/PLC) + Uzaktan İşletim + Alarm Sistemi (OPC-UA Bağlantı Protokolü mevcuttur)

Açıklama	Belirli yapılandırma boyutu, müşteriye ait kaplama ürün gereksinimlerine göre tasarlanabilir

Uygulama

Cep telefonu kamerası lensleri, optik lensler, gözlük lensleri, otomotiv ekran camları, VR/AR optik bileşenleri ve hassas filtrelerde yaygın olarak kullanılır; zengin efektlerle kesin ve homojen bir film katmanı oluşturabilir.