Optische Präzisions-PVD-Vakuum-Beschichtungsmaschine

Programmiersystem für Mehrschichtfilme
Steuerbare Elektronenstrahlstromstärke
Quarzkristall-Dickenüberwachung für Schichten

Einleitung

Verwendet eine Verbundtechnologie aus Elektronenstrahl-Verdampfung/Magnetron-Sputtern mit ionenquellenunterstützter Abscheidung, speziell entwickelt für mehrschichtige präzise optische Filme, um hohe Gleichmäßigkeit, hohe Reinheit und hochpräzise optische Filmbeschichtung zu erreichen.

Kerntechnologie

■ Zweimodige Schichtdickenüberwachung (Kristall-/optisch), vollautomatische geschlossene Regelung

■ Vertikale integrierte Bauweise, geringer Platzbedarf und einfache Bedienung

■ Abscheidung mit Ionenquelle, dichte und feste Schicht

■ Manueller/vollautomatischer Dualmodus für Forschung & Entwicklung sowie Serienfertigung

Kernvorteile

■ Importiertes Schichtdickenüberwachungssystem, Genauigkeit der Dickensteuerung ≤ ±1 %, hervorragende Wiederholgenauigkeit des Schichtsystems

■ Vorreinigung mit Ionenquelle, deutlich verbesserte Haftung zwischen Schicht und Substrat

■ Hochvakuum-Umgebung, keine Verunreinigungen in der Schicht, 100 % Einhaltungsrate der optischen Leistungsanforderungen

■ Kompatibel mit verschiedenen Beschichtungsverfahren, hohe Prozessanpassungsfähigkeit

Grundkonfiguration

Modell	CCZK-1350-OGS	CCZK-1600-OGS	CCZK-2050-OGS
Kammergröße	D1350 mm × H1350 mm	D1600 mm × H1500 mm	D2050 mm × H1600 mm
Power Load	67KW	86 kW	105kw
Landefläche	L5700 mm × B4900 mm × H3050 mm	L6800 mm × B5800 mm × H6780 mm	L8300 mm × B7000 mm × H4200 mm
Beschichtungsfolien	AR-Entspiegelungsfolie, AF-Anti-Fingerabdruck-Folie, Hochreflexionsfolie, Filterfolie, BBAR-Breitband-Entspiegelungsfolie; Härte der AF-Folie ≥ 6H, optische Folie ist dicht und frei von Poren
Vakuumsystem	Diffusionspumpe/Turbo-Molekularpumpe + Vorschubpumpe + Drehschieberpumpe + Haltepumpe (kryogene Pumpe und Polycold sind optional)
Ultimatives System	5*10^-4Pa (Reinigung und Entleerung der Kammer)
Rotationssystem	Planetares Dreh- und Kreisbewegungssystem 6/8/10/12/16 Achsen

Beschichtungssystem	E-Typ elektrischer Strahl Hall-Ionenquelle Verteilte MFC-Gasführung CTM ^®Quarzkristall-Dickenmonitor


Netzteil	Stromversorgung für elektrischen Strahl Plasma-Stromversorgung
Betriebssystem	Vollautomatisch (IPC/PLC) + Fernbedienung + Alarmystem (OPC-UA-Verbindungsprotokoll verfügbar)

Anmerkung	Die konkrete Konfigurationsgröße kann entsprechend den Beschichtungsanforderungen des Kunden für das jeweilige Produkt ausgelegt werden

Anwendung

Weit verbreitet in Mobiltelefon-Kameraobjektiven, optischen Linsen, Brillengläsern, Automobil-Display-Glas, VR/AR-optischen Komponenten und Präzisionsfiltern; kann eine präzise und gleichmäßige Filmschicht mit vielfältigen Effekten bilden.