Optyczna precyzyjna maszyna do powlekania w próżni metodą PVD

Programowanie systemu wielowarstwowych powłok
Sterowalny prąd wiązki armatki elektronowej
Kontrola grubości powłoki za pomocą kwarcowego czujnika krystalicznego

Wprowadzenie

Zastosowano połączenie technologii napylania wiązką elektronową i rozpraszania magnetronowego z wspomaganiem źródłem jonów, specjalnie zaprojektowane do tworzenia wielowarstwowych precyzyjnych powłok optycznych w celu osiągnięcia wysokiej jednorodności, wysokiej czystości oraz wysokiej precyzji napylania powłok optycznych.

Technologia podstawowa

■ Dwustanowy system monitorowania grubości warstwy (kryształowy/optyczny), w pełni automatyczna kontrola sprzężenia zwrotnego

■ Pionowa struktura zintegrowana, mała powierzchnia zabudowy i łatwa obsługa

■ Napylanie wspomagane źródłem jonów, gęsta i trwała warstwa

■ Tryb ręczny/półautomatyczny lub w pełni automatyczny – odpowiedni zarówno do badań i rozwoju, jak i produkcji masowej

Podstawowe Zalety

■ Importowany system monitorowania grubości warstwy, dokładność kontroli grubości ≤±1 %, doskonała powtarzalność układu warstw

■ Wstępne czyszczenie za pomocą źródła jonów, znacznie poprawiona przyczepność warstwy do podłoża

■ Środowisko wysokiej próżni, brak zanieczyszczeń w warstwie, 100% zgodność z wymaganiami dotyczącymi właściwości optycznych

■ Kompatybilność z różnymi procesami napylania, duża elastyczność technologiczna

Podstawowa konfiguracja

Model	CCZK-1350-OGS	CCZK-1600-OGS	CCZK-2050-OGS
Rozmiar komory	Średnica 1350 mm × wysokość 1350 mm	Średnica 1600 mm × wysokość 1500 mm	D2050 mm × W1600 mm
Power Load	67KW	86 kW	105kw
Powierzchnia lądowania	D5700 mm × S4900 mm × W3050 mm	D6800 mm × S5800 mm × W6780 mm	D8300 mm × S7000 mm × W4200 mm
Powłoki pokryciowe	Powłoka AR (przeciwodblaskowa), powłoka AF (przeciwodciskowa), powłoka o wysokiej odbijalności, powłoka filtracyjna, szerokopasmowa powłoka przeciwodblaskowa BBAR; twardość powłoki AF ≥6H, warstwa optyczna jest gęsta i pozbawiona mikrootworów
System próżniowy	Pompa dyfuzyjna / turbomolekularna + pompa wspomagająca + pompa wirowa + pompa utrzymująca (pompa kriogeniczna i system Polycold są opcjonalne)
Najlepszy system	5*10^-4Pa (czysta i pusta komora)
System obrotowy	Obroty planetarne i obiegowe 6 / 8 / 10 / 12 / 16 osi

System Powłokowy	Elektryczna belka typu E Źródło jonów Halla Rozproszona ścieżka gazu z MFC CTM ^®Monitor grubości kryształu kwarcowego


Zasilacz	Zasilacz do elektrycznej belki Zasilanie plazmowe
System operacyjny	Pełna automatyzacja (IPC/PLC) + obsługa zdalna + system alarmowy (Dostępny protokół połączenia OPC-UA)

Uwagi	Konkretny rozmiar konfiguracji może być zaprojektowany zgodnie z wymaganiami klienta dotyczącymi powłoki na produkty

Zastosowanie

Szeroko stosowany w obiektywach do telefonów komórkowych, soczewkach optycznych, soczewkach okularowych, szybach wyświetlaczów samochodowych, komponentach optycznych do technologii VR/AR oraz precyzyjnych filtrach; umożliwia tworzenie precyzyjnej i jednolitej warstwy powłoki o bogatych efektach.