Macchina per rivestimento ottico di precisione con tecnica PVD in vuoto

Programmazione del sistema per film multistrato
Corrente del fascio della pistola elettronica controllabile
Monitoraggio dello spessore del film mediante cristallo di quarzo

Introduzione

Adotta una tecnologia composita di evaporazione a fascio elettronico/sputtering a magnetron con deposizione assistita da sorgente ionica, appositamente progettata per film ottici multistrato di precisione al fine di ottenere un'elevata uniformità, purezza e precisione nella deposizione dei film ottici.

Tecnologia di base

■ Monitoraggio dello spessore del film a doppia modalità (cristallo/ottico), controllo automatico completo in loop chiuso

■ Struttura integrata verticale, ingombro ridotto e semplicità di utilizzo

■ Deposizione assistita da sorgente ionica, film denso e resistente

■ Modalità manuale/completamente automatica, adatta sia per R&S che per produzione su larga scala

Principali Vantaggi

■ Sistema importato di monitoraggio dello spessore del film, accuratezza del controllo dello spessore ≤±1%, eccellente ripetibilità del sistema film

■ Prelavaggio con sorgente ionica, adesione film-substrato notevolmente migliorata

■ Ambiente ad alto vuoto, assenza di impurità nel film, tasso di conformità alle prestazioni ottiche pari al 100%

■ Compatibile con vari processi di rivestimento, elevata adattabilità ai processi

Configurazione di base

Modello	CCZK-1350-OGS	CCZK-1600-OGS	CCZK-2050-OGS
Dimensioni della camera	D1350 mm * H1350 mm	D1600 mm * H1500 mm	D2050 mm * H1600 mm
Power Load	67KW	86kW	105 kW
Area di atterraggio	L5700 mm * L4900 mm * H3050 mm	L6800 mm * L5800 mm * H6780 mm	L8300 mm * L7000 mm * H4200 mm
Film di rivestimento	Film antiriflesso (AR), film anti-impronta digitale (AF), film ad alta riflessione, film filtro, film antiriflesso a banda larga (BBAR); durezza del film AF ≥6H, il film ottico è denso e privo di pori
Sistema di vuoto	Pompa a diffusione / pompa molecolare turbo + pompa booster + pompa a palette rotanti + pompa di mantenimento (pompa criogenica e polycold sono opzionali)
Sistema finale	5*10^-4Pa (camera pulita e vuota)
Sistema di rotazione	Rotazione e rivoluzione planetaria 6 / 8 / 10 / 12 / 16 assi

Sistema di Rivestimento	Fascio elettrico di tipo E Sorgente ionica a effetto Hall Percorso gas MFC distribuito CTM ^®Monitor dello spessore del cristallo di quarzo


Alimentatore	Alimentatore per fascio elettrico Fonte di alimentazione plasma
Sistema Operativo	Completamente automatico (IPC/PLC) + Funzionamento remoto + Sistema di allarme (Protocollo di collegamento OPC-UA disponibile)

Osservazione	Le dimensioni della configurazione specifica possono essere progettate in base ai requisiti del cliente relativi al prodotto da rivestire

Applicazione

Ampio utilizzo nelle lenti delle fotocamere per telefoni cellulari, nelle lenti ottiche, nelle lenti per occhiali, nel vetro per display automobilistici, nei componenti ottici per realtà virtuale (VR) e realtà aumentata (AR) e nei filtri di precisione; può formare uno strato filmogeno preciso e uniforme con effetti ricchi.