Mesin Pelapisan Vakum PVD Presisi Optik

Pemrograman Sistem Film Multi-Lapis
Arus Berkas Pistol Elektron yang Dapat Dikontrol
Pemantauan Ketebalan Film Kristal Kuarsa

Pendahuluan

Mengadopsi teknologi komposit penguapan berkas elektron/sputtering magnetron dengan bantuan sumber ion dalam pengendapan, yang dirancang khusus untuk film optik presisi berlapis banyak guna mencapai keseragaman tinggi, kemurnian tinggi, dan pengendapan film optik presisi tinggi.

Teknologi inti

■ Pemantauan ketebalan lapisan dua mode (kristal/optik), pengendalian loop-tertutup sepenuhnya otomatis

■ Struktur terintegrasi vertikal, jejak tapak kecil dan pengoperasian mudah

■ Pengendapan dengan bantuan sumber ion, lapisan padat dan kuat

■ Dua mode: manual/otomatis penuh, cocok untuk penelitian & pengembangan (R&D) maupun produksi massal

Keunggulan Inti

■ Sistem pemantauan ketebalan lapisan impor, akurasi pengendalian ketebalan ≤±1%, tingkat pengulangan sistem lapisan sangat baik

■ Pembersihan awal menggunakan sumber ion, daya rekat lapisan-substrat meningkat signifikan

■ Lingkungan vakum tinggi, tanpa kotoran dalam lapisan, tingkat kepatuhan kinerja optik 100%

■ Kompatibel dengan berbagai proses pelapisan, kemampuan adaptasi proses yang kuat

Konfigurasi dasar

Model	CCZK-1350-OGS	CCZK-1600-OGS	CCZK-2050-OGS
Ukuran Kamar	D1350 mm * T1350 mm	D1600 mm * T1500 mm	D2050 mm * T1600 mm
Power Load	67KW	86kW	105kw
Area Pendaratan	P5700 mm * L4900 mm * T3050 mm	P6800 mm * L5800 mm * T6780 mm	P8300 mm * L7000 mm * T4200 mm
Film Lapisan	Film anti-refleksi (AR), film anti-sidik jari (AF), film refleksi tinggi, film filter, dan film anti-refleksi lebar (BBAR); kekerasan film AF ≥6H, film optik padat dan bebas lubang mikro
Sistem vakum	Pompa difusi/pompa molekuler turbo + pompa penguat + pompa palet putar + pompa penahan (pompa kriogenik dan polycold bersifat opsional)
Sistem pamungkas	5*10^-4Pa (Bersihkan dan kosongkan ruang vakum)
Sistem rotasi	Rotasi dan revolusi planetari 6/8/10/12/16 sumbu

Sistem Pelapisan	Balok Listrik Tipe-E Sumber Ion Hall Jalur Gas MFC Terdistribusi CTM ^®Pemantau Ketebalan Kristal Kuarsa


Pasokan daya	Catu Daya Balok Listrik Pasokan listrik plasma
Sistem Operasi	Sepenuhnya otomatis (IPC/PLC) + Operasi jarak jauh + Sistem peringatan (Protokol koneksi OPC-UA tersedia)

Catatan	Ukuran konfigurasi spesifik dapat dirancang sesuai dengan kebutuhan pelanggan terhadap produk pelapisan

Aplikasi

Banyak digunakan pada lensa kamera ponsel, lensa optik, lensa kacamata, kaca tampilan otomotif, komponen optik VR/AR, serta filter presisi, dan mampu membentuk lapisan film yang presisi dan seragam dengan efek yang kaya.