Mesin Pelapisan Vakum PVD Ketepatan Optik

Pengaturcaraan Sistem Filem Berbilang Lapisan
Arus Alur Elektron Gun yang Boleh Dikawal
Pemantauan Ketebalan Filem Kristal Kuartz

Pengenalan

Menggunakan teknologi komposit pengewapan sinar elektron/penyemburan magnetron dengan bantuan sumber ion, direka khas untuk film optik berbilang lapisan dengan ketepatan tinggi bagi mencapai seragamitas tinggi, ketulenan tinggi dan pemendapan film optik dengan ketepatan tinggi.

Teknologi teras

■ Pemantauan ketebalan lapisan dwi-modus (kristal/optik), kawalan gelung tertutup sepenuhnya automatik

■ Struktur bersepadu menegak, jejak tapak kecil dan operasi mudah

■ Penyimpanan dengan sumber ion, lapisan padat dan kukuh

■ Dwimod: manual/sepenuhnya automatik, sesuai untuk penyelidikan & pembangunan (R&D) serta pengeluaran pukal

Kelebihan Utama

■ Sistem pemantauan ketebalan lapisan import, ketepatan kawalan ketebalan ≤±1%, kebolehulangan sistem lapisan yang sangat baik

■ Pembersihan awal dengan sumber ion, peningkatan ketara dalam lekatan lapisan-substrat

■ Persekitaran vakum tinggi, tiada bendasing dalam lapisan, kadar pematuhan prestasi optik 100%

■ Sesuai dengan pelbagai proses salutan, kebolehsesuaian proses yang kuat

Konfigurasi asas

Model	CCZK-1350-OGS	CCZK-1600-OGS	CCZK-2050-OGS
Saiz Kamar	D1350mm*H1350mm	D1600mm*H1500mm	D2050mm*T1600mm
Pemuatan Kuasa	67KW	86kW	105kw
Kawasan Pendaratan	P5700mmL4900mmT3050mm	P6800mmL5800mmT6780mm	P8300mmL7000mmT4200mm
Filem Lapisan	Filem anti-pantulan (AR), filem anti-jari (AF), filem pantulan tinggi, filem penapis, filem anti-pantulan jalur lebar (BBAR); kekerasan filem AF ≥6H, filem optik padat dan bebas lubang jarum
Sistem vakum	Pam Resapan/Pam Molekul Turbo + Pam Bantu + Pam Bilah Putar + Pam Penahan (pam kriogenik dan polycold adalah pilihan)
Sistem muktamad	5*10^-4Pa (Bersihkan dan kosongkan ruang)
Sistem putaran	Putaran dan peredaran planet 6/8/10/12/16 paksi

Sistem Salutan	Sinaran Elektrik Jenis-E Sumber Ion Hall Laluan Gas MFC Teragih CTM ^®Pemantau Ketebalan Kristal Kuarsa


Bekalan Kuasa	Bekalan Kuasa Sinaran Elektrik Bekalan kuasa plasma
Sistem Operasi	Sepenuhnya Automatik (IPC/PLC) + Operasi Jarak Jauh + Sistem Amaran (Protokol Pautan OPC-UA tersedia)

Catatan	Saiz konfigurasi khusus boleh direka mengikut keperluan pelanggan terhadap produk bersalut

Permohonan

Digunakan secara meluas pada kanta kamera telefon bimbit, kanta optik, kanta cermin mata, kaca paparan automotif, komponen optik VR/AR, dan penapis tepat, serta mampu membentuk lapisan filem yang tepat dan seragam dengan kesan yang kaya.