Optische precisie PVD-vacuumbekleedingsmachine

Programmeringssysteem voor meervlaadsfilms
Instelbare elektronenkanonstraalstroom
Quartzkristal-diktemonitoring van films

Inleiding

Gebruikt een composiettechnologie voor elektronenstraalverdamping/magnetron-sputteren met ionenbronondersteunde afzetting, speciaal ontworpen voor meerdere lagen precisie-optische films om hoge uniformiteit, hoge zuiverheid en hoge precisie bij de afzetting van optische films te bereiken.

Kerntechnologie

■ Dubbelmodale filmdiktemonitoring (kristal/optisch), volledig automatische gesloten-lusregeling

■ Verticale geïntegreerde constructie, klein voetafdruk en eenvoudige bediening

■ Afzetting met ionenbronondersteuning, dichte en stevige film

■ Handmatige/volledig automatische dubbelmodus, geschikt voor zowel O&O als massaproductie

Kernvoordelen

■ Geïmporteerd systeem voor filmdiktemonitoring, nauwkeurigheid van dikteregeling ≤ ±1 %, uitstekende herhaalbaarheid van het filmsysteem

■ Voorreiniging met ionenbron, aanzienlijk verbeterde hechting tussen film en substraat

■ Hoogvacuümomgeving, geen verontreinigingen in de film, 100% naleving van optische prestatie-eisen

■ Compatibel met diverse coatingprocessen, sterke aanpassingsvermogen voor processen

Basisconfiguratie

Model	CCZK-1350-OGS	CCZK-1600-OGS	CCZK-2050-OGS
Chamber size	D1350 mm × H1350 mm	D1600 mm × H1500 mm	D2050 mm × H1600 mm
Power Load	67KW	86 kW	105KW
Landingsgebied	L5700 mm × B4900 mm × H3050 mm	L6800 mm × B5800 mm × H6780 mm	L8300 mm × B7000 mm × H4200 mm
Coatingfilms	AR-antireflectiefilm, AF-antivingerprintfilm, hoogreflecterende film, filterfilm, BBAR-brede-band-antireflectiefilm; AF-filmhardheid ≥6H, optische film is dicht en vrij van gaatjes
Vacuümsysteem	Diffusiepomp/turbomoleculaire pomp + boosterpomp + draaivleugelpomp + houdpomp (cryopomp en polycold zijn optioneel)
Ultiem systeem	5*10^-4Pa (schone en lege kamer)
Roteersysteem	Planetaire rotatie en revolutie 6/8/10/12/16-assig

Coatingsysteem	E-type elektrische bundel Hall-ionbron Gedistribueerd MFC-gaspad CTM ^®Diktemonitor voor kwartskristallen


Stroomvoorziening	Voeding voor elektrische bundel Plasma voeding
Besturingssysteem	Volledig automatisch (IPC/PLC) + bediening op afstand + alarmsysteem (OPC-UA-koppelingsprotocol beschikbaar)

Opmerking	De specifieke configuratie-afmeting kan worden ontworpen op basis van de coatingproductvereisten van de klant

Toepassing

Wijd gebruikt in cameraobjectieven voor mobiele telefoons, optische lenzen, brillenglazen, autoglas voor displays, optische onderdelen voor VR/AR en precisiefilters, en kan een nauwkeurige en uniforme folielaag vormen met rijke effecten.