Optinen tarkkuus-PVD-tyhjiöpinnoituskone

Monikerroksisen kalvon järjestelmän ohjelmointi
Säädettävä elektroniputken sädevirta
Kvartsikidekalvon paksuuden seuranta

Johdanto

Käyttää elektronisäteen höyrystämisen ja magneettiruutuspinnoituksen yhdistettyä teknologiaa ionilähteen avustamalla pinnoitustekniikalla, joka on erityisesti suunniteltu monikerroksisille tarkkuusoptisille pinnoitteille korkean tasaisuuden, korkean puhtauden ja korkean tarkkuuden saavuttamiseksi optisten pinnoitteiden pinnoituksessa.

Ydinteknologia

■ Kaksitilainen kalvon paksuuden seuranta (kide/optinen), täysin automaattinen suljettu säätöpiiri

■ Pystysuora integroitu rakenne, pieni käyttöpinta-ala ja helppokäyttöisyys

■ Ionilähdeavusteinen pinnoitus, tiukka ja vankka kalvo

■ Manuaalinen / täysautomaattinen kaksitilatoiminto sekä tutkimus- ja kehitystyöhön että sarjatuotantoon

Ytimiset edut

■ Tuotu kalvon paksuuden seurantajärjestelmä, paksuuden säätötarkkuus ≤ ±1 %, erinomainen kalvoprosessin toistettavuus

■ Ionilähteen avulla tehtävä esipuhdistus, merkittävästi parannettu kalvon ja alustan adheesio

■ Korkean tyhjiön ympäristö, kalvossa ei ole epäpuhtauksia, optisen suorituskyvyn vaatimusten täyttöaste 100 %

■ Yhteensopiva erilaisten pinnoitusprosessien kanssa, vahva prosessisoveltuvuus

Perusmääritys

Malli	CCZK-1350-OGS	CCZK-1600-OGS	CCZK-2050-OGS
Kamman koko	D1350 mm × K1350 mm	D1600 mm × K1500 mm	D2050 mm × K1600 mm
Power Load	67KW	86 kW	105kw
Landing-alue	P5700 mm × L4900 mm × K3050 mm	P6800 mm × L5800 mm × K6780 mm	P8300 mm × L7000 mm × K4200 mm
Pintakäsittelykalvot	AR-heijastuksen estävä kalvo, AF-sormenjälkien estävä kalvo, korkean heijastuksen kalvo, suodatinkalvo, BBAR-laajakaistainen heijastuksen estävä kalvo; AF-kalvon kovuus ≥6H, optinen kalvo on tiukka ja ilman mikroreikiä
Tyhjiöjärjestelmä	Diffuusiopumppu / turbo-molekulaaripumppu + lisäpumppu + pyöriväsiipipumppu + säilytyspumppu (cryopumppu ja polycold ovat vaihtoehtoisia)
Lopullinen järjestelmä	5*10^-4Pa (puhdas ja tyhjä kammio)
Pyörimisjärjestelmä	Planeetta-akselin pyörähdys ja kiertoliike 6 / 8 / 10 / 12 / 16 akselia

Pintakäsittelyjärjestelmä	E-tyyppinen sähköinen säde Hall-ionilähde Jakautunut MFC-kaasupolku CTM ^®Kvartsikidepaksuuden seurantalaite


Virtalähde	Sähköisen säteen teholähde Plasma-tukekone
Käyttöjärjestelmä	Täysautomaattinen (IPC/PLC) + Etäkäyttö + Hälytysjärjestelmä (OPC-UA-linkkiprotokolla saatavilla)

Huomautus	Tarkka konfiguraatiokoko voidaan suunnitella asiakkaan pinnoitettavan tuotteen vaatimusten mukaan

Sovellus

Laajalti käytetty matkapuhelimen kameralinssien, optisten linssien, silmälasien linssien, auton näyttölasien, VR-/AR-optiikakomponenttien ja tarkkuussuodattimien valmistukseen; muodostaa tarkan ja yhtenäisen kalvokerroksen rikkailla vaikutuksilla.