Mesin Pelapisan Vakum PVD Sputtering Magnetron

Inti Target Berpendingin Tidak Langsung
Medan Magnet Tertutup Tidak Seimbang
Katoda Planar/Silindris (Pilihan)

Pendahuluan

Mengadopsi teknologi sputtering magnetron planar/rotari, mampu mengendapkan film logam dan senyawa yang padat serta seragam, cocok untuk berbagai substrat dan skenario aplikasi

Teknologi inti

■ Target planar/rotari opsional, kemampuan adaptasi yang kuat

■ Kontrol PLC sepenuhnya otomatis, pengoperasian mudah

■ Mampu melakukan pelapisan satu/multi-lapis, kualitas film murni

■ Cocok untuk benda kerja berukuran besar/kecil dan berbentuk khusus

Keunggulan Inti

■ Film rapat dan seragam dengan daya rekat yang kuat

■ Proses stabil dengan tingkat pengulangan yang baik

■ Pelapisan suhu rendah, tidak merusak substrat yang sensitif terhadap panas

■ Pemanfaatan target tinggi, biaya perawatan rendah

Konfigurasi dasar

Model	CCZK-700-SF	CCZK-1012-SF	CCZK-1416-SF	CCZK-1618-SF	CCZK-1820-SF
Ukuran Kamar	D700 mm × T700 mm	D1000mm*T1200mm	D1400mm*T1600mm	D1600mm*T1800mm	D1800mm*T2000mm
Power Load	58KW	75KW	175KW	230kW	255kw
Area Pendaratan	P4200mmL4200mmT2300mm	P5400mmL5200mmT2900mm	P6155mmL5050mmT3210mm	P6500mmL4750mmT3200mm	P7800mmL5200mmT2600mm
Warna Pelapis	Emas, Perak, Hitam Senapan, Emas Mawar, Biru, Abu-abu, Transparan
Film Lapisan	Film logam murni, film paduan, film senyawa; Kekerasan 500–3000 HV, padat dan tahan aus
Sistem vakum	Pompa difusi/pompa molekuler turbo + pompa penguat + pompa palet putar + pompa penahan (pompa kriogenik dan polycold bersifat opsional)
Vakum Akhir	5*10 ^-4Pa (Ruang bersih dan kosong)
Sistem rotasi	Rotasi dan revolusi planetari 6/8/10/12/16 sumbu

Sistem Pelapisan	CKB ^®Katoda Sputtering Planar / CKB ^®Katoda Sputtering Batang Silinder / IET ^®Etsa / Jalur Gas MFC Terdistribusi / Sputtering HIPIMS


Pasokan daya	Daya Sputtering DC Pulsasi / Daya Sputtering Bipolar / Daya Sputtering RF / Daya Bias Pulsasi / Daya HIPIMS / IET ^®daya
Sistem Operasi	Sepenuhnya otomatis (IPC/PLC) + Operasi jarak jauh + Sistem peringatan (Protokol koneksi OPC-UA tersedia)

Catatan	Ukuran konfigurasi spesifik dapat dirancang sesuai dengan kebutuhan pelanggan terhadap produk pelapisan

Aplikasi

Banyak digunakan pada komponen dekoratif perangkat keras, kaca peralatan rumah tangga, komponen otomotif, produk digital 3C, lensa optik, botol kaca untuk kosmetik, komponen semikonduktor, komponen instrumen presisi, serta ornamen kerajinan kelas atas; proses ini mampu menghasilkan warna-warna kaya serta membentuk lapisan film yang seragam dan padat.