Mașină de acoperire în vid PVD prin pulverizare magnetron

Nucleu de țintă răcit indirect
Câmp magnetic închis neechilibrat
Catod planar/cilindric opțional

Introducere

Adoptă tehnologia de pulverizare catodică cu magnetron planar/rotativ, permițând depunerea unor filme metalice și compuse dense și uniforme, potrivite pentru diverse substraturi și scenarii

Tehnologie de bază

■ Obiective planare/rotative opționale, adaptabilitate ridicată

■ Comandă complet automată prin PLC, operare ușoară

■ Capabil să realizeze depuneri în strat unic/multi-strat, calitate superioară a filmului

■ Potrivit pentru piese de dimensiuni mari/mici și cu forme speciale

Avantaje Principale

■ Film dens și uniform, cu aderență excelentă

■ Proces stabil, cu repetabilitate bună

■ Depunere la temperatură scăzută, fără deteriorarea substraturilor sensibile la căldură

■ Randament ridicat al țintei, costuri reduse de întreținere

Configurație de bază

Model	CCZK-700-SF	CCZK-1012-SF	CCZK-1416-SF	CCZK-1618-SF	CCZK-1820-SF
Dimensiunea camerei	D700 mm × Î700 mm	D1000 mm × Î1200 mm	D1400 mm × Î1600 mm	D1600 mm × Î1800 mm	D1800 mm × Î2000 mm
Încărcare puternică	58KW	75KW	175KW	230kW	255kw
Zona de aterizare	L4200 mm × l4200 mm × Î2300 mm	L5400 mm × l5200 mm × Î2900 mm	L6155 mm × l5050 mm × Î3210 mm	L6500 mm × l4750 mm × Î3200 mm	L7800 mm × l5200 mm × Î2600 mm
Culori ale stratului de acoperire	Auriu, Argintiu, Negru pistol, Aur roz, Albastru, Gri, Transparent
Filme de acoperire	Film pur din metal, film din aliaj, film compozit; Duritate 500–3000 HV, dens și rezistent la uzură
Sistem de vacuu	Pompă de difuzie / pompă moleculară turbo + pompă de întărire + pompă cu palete rotative + pompă de reținere (pompă criogenică și sistem Polycold sunt opționale)
Vid Final	5 × 10 ^-4Pa (Camera curată și goală)
Sistemul de rotație	Rotație și revoluție planetară 6 / 8 / 10 / 12 / 16 axe

Sistem de Acoperire	CKB ^®Catod de pulverizare planară / CKB ^®Catod de pulverizare cu tijă cilindrică / IET ^®Etşare / Traseu gazos cu MFC distribuit / Pulverizare HIPIMS


Sursă de Alimentare	Putere de pulverizare CC pulsată / Putere de pulverizare bipolară / Putere de pulverizare RF / Putere de polarizare pulsată / Putere HIPIMS / IET ^®putere
Sistem de operare	Total automatizat (IPC/PLC) + Operare la distanță + Sistem de alarmă (Protocolul de legătură OPC-UA este disponibil)

Observație	Dimensiunea configurației specifice poate fi proiectată în funcție de cerințele clientului privind produsul de acoperire

Aplicație

Utilizat pe scară largă în piese decorative pentru echipamente, sticlă pentru electrocasnice, piese auto, produse digitale 3C, lentile optice, sticle de cosmetic din sticlă, componente pentru semiconductori, componente pentru instrumente de precizie și ornamente artizanale de înaltă calitate; poate oferi culori bogate și poate forma un strat de film uniform și dens.