Makinang Pang-sputtering na May Magnetron at Vacuum Coating sa PVD

Indirectly Cooled Target Core
Di-balanseng Nakasaraang Magnetic Field
Opsiyonal na Planar/Cylindrical na Cathode

Panimula

Gumagamit ng planar/rotary magnetron sputtering na teknolohiya, na kaya nang mag-deposit ng madiplomang at pantay na metal at compound films, na angkop para sa iba’t ibang substrate at sitwasyon

Pangunahing teknolohiya

■ Opsyonang planar/rotary na mga target, malakas na kakayahang umangkop

■ Ganap na awtomatikong kontrol ng PLC, madaling gamitin

■ Kakayahang mag-aplay ng solong/maramihang layer ng coating, de-kalidad na purong pelikula

■ Angkop para sa malalaki/maliit at espesyal na hugis na mga bahagi

Core Advantages

■ Matalas at pantay na pelikula na may matibay na pagkakadikit

■ Estable na proseso na may mabuting pag-uulit

■ Coating sa mababang temperatura, walang pinsala sa mga substrata na sensitibo sa init

■ Mataas na paggamit ng target, mababang gastos sa pagpapanatili

Pangunahing configuration

Modelo	CCZK-700-SF	CCZK-1012-SF	CCZK-1416-SF	CCZK-1618-SF	CCZK-1820-SF
Laki ng Chamber	D700mm*H700mm	D1000mm*H1200mm	D1400mm*H1600mm	D1600mm*H1800mm	D1800mm*H2000mm
Power Load	58KW	75KW	175KW	230kW	255kw
Landing Area	L4200mmW4200mmH2300mm	L5400mmW5200mmH2900mm	L6155mmW5050mmH3210mm	L6500mmW4750mmH3200mm	L7800mmW5200mmH2600mm
Mga Kulay ng Patong	Ginto, Pilak, Itim na Baril, Rosas na Ginto, Asul, Abot, Transparente
Mga Pelikulang Patong	Pelikulang purong metal, pelikulang aliyas, pelikulang kompuwesto; Kekakuan 500–3000HV, dense at tumutol sa pagsuot
Sistema ng vacuum	Diffusion pump / Turbo molecular pump + Booster pump + Rotary vane pump + Holding pump (cryogenic pump at polycold ay opsyonal)
Huling Vacuum	5* 10 ^-4Pa (Malinis at walang laman na silid)
Sistema ng pag-ikot	Pansariling pag-ikot at pag-ikot sa paligid 6/8/10/12/16 na aksis

Sistema ng Paglalapat	CKB ^®Planar na Sputtering Cathode / CKB ^®Cylinder Rod na Sputtering Cathode / IET ^®Etching / Iba’t ibang Gas Path ng MFC / HIPIMS na Sputtering


Supply ng Kuryente	Pulsed DC Sputtering power / Bipolar Sputtering power / RF na Sputtering Power / Pulsed Bias Power / HIPIMS Power / IET ^®kuryente
Sistema ng Operasyon	Buong awtomatiko (IPC/PLC) + Operasyon na pampagtago + Sistema ng alarm (Available ang OPC-UA Link protocol)

Tala	Ang tiyak na sukat ng konpigurasyon ay maaaring idisenyo batay sa mga kinakailangan ng customer para sa kanilang mga produktong may coating

Aplikasyon

Malawakang ginagamit sa mga hardware na dekoratibong bahagi, salamin ng appliance sa bahay, bahagi ng sasakyan, mga digital na produkto sa kategoryang 3C, optical na lens, salaming bote para sa kosmetiko, komponente ng semiconductor, komponente ng mga eksaktong instrumento, at dekorasyong sining ng mataas na antas; maaari nitong ipakita ang mayamang kulay at bumuo ng isang pantay at makapal na patong na pelikula.