מכונת קיטור PVD בואקום עם פליטת מגנטון

ליבת מטרה מוקפאת באופן עקיף
שדה מגנטי סגור לא מאוזן
קתודה שטוחה/גלילית – לבחירה

מבוא

מאמצת טכנולוגיית שפיכה מגנטונית שטחית/סיבובית, אשר יכולה לשקף סרטים צפופים ואחדניים של מתכות ותרכובות, מתאימה למגוון בסיסים ולמגוון תרחישים

טכנולוגיה מרכזית

■ מטרות פלנריות/סיבוביות אופציונליות, התאמה חזקה

■ בקרת PLC מלאה אוטומטית, נוחה להפעלה

■ מסוגל לطلاء בדגם יחיד/רב-שכבות, איכות סרט טהורה

■ מתאים לחלקים גדולים/קטנים ולחלקים בעלי צורות מיוחדות

היתרים עיקריים

■ סרט צפוף ואחדני עם הדבקה חזקה

■ תהליך יציב עם שחזור טוב

■ טיפוס בטמפרטורה נמוכה, ללא נזק ליסודות רגישים לחום

■ יעילות גבוהה של המטרה, עלות נמוכה לתיקונים ותחזוקה

תצורה בסיסית

דגם	CCZK-700-SF	CCZK-1012-SF	CCZK-1416-SF	CCZK-1618-SF	CCZK-1820-SF
גודל מחדר	קוטר 700 מ"מ × גובה 700 מ"מ	קוטר 1000 מ"מ × גובה 1200 מ"מ	קוטר 1400 מ"מ × גובה 1600 מ"מ	קוטר 1600 מ"מ × גובה 1800 מ"מ	קוטר 1800 מ"מ × גובה 2000 מ"מ
עומס הספק	58kw	75קВ	175קВ	230kW	255kw
אזור נחיתה	אורך 4200 מ"מ × רוחב 4200 מ"מ × גובה 2300 מ"מ	אורך 5400 מ"מ × רוחב 5200 מ"מ × גובה 2900 מ"מ	אורך 6155 מ"מ × רוחב 5050 מ"מ × גובה 3210 מ"מ	אורך 6500 מ"מ × רוחב 4750 מ"מ × גובה 3200 מ"מ	אורך 7800 מ"מ × רוחב 5200 מ"מ × גובה 2600 מ"מ
צבעי שכבת הסדוקה	זהב, כסף, שחור אקדח, זהב ורוד, כחול, אפור, שקוף
שכבות כיסוי	סרט מתכת טהור, סרט סגסוגת, סרט מורכב; קשיות 500–3000 HV, צפוף ועמיד לשחיקה
מערכת וואקום	משאבת דיפוזיה‏/משאבת מולקולרית טורבו + משאבת עזרה + משאבת סיבובית + משאבת אחיזה (משאבת קריר ומערכת Polycold הן אופציונליות)
Vakuum סופי	5 × 10 ^-4פא (תא נקי וריק)
מערכת סיבוב	סיבוב ותנועה מסיבית של הכוכב 6‏/8‏/10‏/12‏/16 צירים

מערכת ציפוי	CKB ^®קתודה לרסיס מישורי / CKB ^®קתודה לרסיס על גלגלת צילינדרית / IET ^®חיטוי / נתיב גז MFC מפוזר / רסיס HIPIMS


ספק כוח	כוח שפיצה של זרם ישר מודולציה / כוח שפיצה דו־קוטבי / ספק כוח לריסוס RF / ספק כוח לקטבים פולסי / ספק כוח ל-HIPIMS / IET ^®הספק
מערכת הפעלה	אוטומציה מלאה (מחשב תעשייתי / שליטה לוגית מתוכנתת) + תפעול מרחוק + מערכת התראות (פרוטוקול קישור OPC-UA זמין)

הערה	גודל הتكوين הספציפי ניתן לעיצוב בהתאם לדרישות הלקוח למכסה המבוקש

יישום

משמש באופן רגיל בחלקי חומרה דקורטיביים, זכוכית למכשירי חשמל ביתיים, חלקים לאוטומובילים, מוצרים דיגיטליים מסוג 3C, עדשות אופטיות, בקבוקי קוסמטיקה מזכוכית, רכיבי סמי־מוליכים, רכיבי מכשירי מדידה מדויקים וקישוטים ידניים מתקדמים; הוא מספק צבעים עשירים ויוצר שכבה דקה אחידה ודחוסה.