Máquina de Revestimento a Vácuo por Espalhamento por Magnetron PVD

Núcleo do Alvo Refrigerado Indiretamente
Campo Magnético Fechado Desbalanceado
Cátodo planar/cilíndrico opcional

Introdução

Adota tecnologia de pulverização catódica magnetrônica planar/rotativa, capaz de depositar filmes metálicos e compostos densos e uniformes, adequados a diversos substratos e cenários

Tecnologia de base

■ Alvos planares/rotativos opcionais, alta adaptabilidade

■ Controle totalmente automático por CLP, operação fácil

■ Capaz de revestimento simples/múltiplas camadas, qualidade de filme puro

■ Adequado para peças de grande/pequeno porte e com formas especiais

Principais Vantagens

■ Filme denso e uniforme com forte aderência

■ Processo estável com boa repetibilidade

■ Revestimento em baixa temperatura, sem danos a substratos sensíveis ao calor

■ Alto aproveitamento do alvo, baixo custo de manutenção

Configuração básica

Modelo	CCZK-700-SF	CCZK-1012-SF	CCZK-1416-SF	CCZK-1618-SF	CCZK-1820-SF
Tamanho da Câmera	D700 mm × A700 mm	D1000 mm * A1200 mm	D1400 mm * A1600 mm	D1600 mm * A1800 mm	D1800 mm * A2000 mm
Power Load	58KW	75KW	175KW	230kW	255kw
Área de Aterrissagem	C4200 mm * L4200 mm * A2300 mm	C5400 mm * L5200 mm * A2900 mm	C6155 mm * L5050 mm * A3210 mm	C6500 mm * L4750 mm * A3200 mm	C7800 mm * L5200 mm * A2600 mm
Cores de Revestimento	Dourado, Prata, Preto Fosco, Rosa Dourado, Azul, Cinza, Transparente
Filmes de Revestimento	Filme de metal puro, filme de liga, filme composto; Dureza 500–3000 HV, denso e resistente ao desgaste
Sistema de vácuo	Bomba de difusão / bomba molecular turbo + bomba de reforço + bomba de paletas rotativas + bomba de retenção (bomba criogênica e polycold são opcionais)
Vácuo Final	5*10 ^-4Pa (câmara limpa e vazia)
Sistema de rotação	Rotação e revolução planetárias 6 / 8 / 10 / 12 / 16 eixos

Sistema de Revestimento	CKB ^®Cátodo de Espelhamento Planar / CKB ^®Cátodo de Espelhamento com Haste Cilíndrica / IET ^®Gravação / Caminho de Gás com MFC Distribuído / Espelhamento HIPIMS


Fonte de Alimentação	Potência de pulverização CC pulsada / Potência de pulverização bipolar / Alimentação de Espelhamento RF / Alimentação de Polarização Pulsada / Alimentação HIPIMS / IET ^®potência
Sistema Operacional	Totalmente automático (IPC/PLC) + Operação Remota + Sistema de Alarme (Protocolo de ligação OPC-UA disponível)

Observação	O tamanho da configuração específica pode ser projetado conforme os requisitos do cliente quanto ao produto a ser revestido

Aplicação

Amplamente utilizado em peças decorativas de ferragens, vidros para eletrodomésticos, peças automotivas, produtos digitais 3C, lentes ópticas, frascos de vidro para cosméticos, componentes semicondutores, componentes de instrumentos de precisão e ornamentos artesanais de alta qualidade, podendo apresentar cores ricas e formar uma camada de filme uniforme e densa.