Magnetron-Sputter-PVD-Vakuum-Beschichtungsmaschine

Indirekt gekühlter Targetkern
Ungleichgewichtiges geschlossenes Magnetfeld
Flacher/zylindrischer Kathodus wahlweise verfügbar

Einleitung

Setzt Planar-/Rotations-Magnetron-Sputtertechnologie ein und ermöglicht die Abscheidung dichter und gleichmäßiger Metall- sowie Verbindungsschichten; geeignet für verschiedene Substrate und Anwendungsbereiche

Kerntechnologie

■ Optionale planare/rotierende Targets, hohe Anpassungsfähigkeit

■ Vollautomatische SPS-Steuerung, einfache Bedienung

■ Eignung für ein- und mehrschichtige Beschichtungen, reine Filmqualität

■ Geeignet für große/kleine sowie speziell geformte Werkstücke

Kernvorteile

■ Dichter und gleichmäßiger Film mit starker Haftung

■ Stabiler Prozess mit guter Wiederholgenauigkeit

■ Niedrigtemperatur-Beschichtung, keine Schädigung wärmeempfindlicher Substrate

■ Hohe Targetausbeute, geringe Wartungskosten

Grundkonfiguration

Modell	CCZK-700-SF	CCZK-1012-SF	CCZK-1416-SF	CCZK-1618-SF	CCZK-1820-SF
Kammergröße	D700 mm × H700 mm	D1000 mm × H1200 mm	D1400 mm × H1600 mm	D1600 mm × H1800 mm	D1800 mm × H2000 mm
Power Load	58KW	75KW	175 KW	230kW	255kw
Landefläche	L4200 mm × B4200 mm × H2300 mm	L5400 mm × B5200 mm × H2900 mm	L6155 mm × B5050 mm × H3210 mm	L6500 mm × B4750 mm × H3200 mm	L7800 mm × B5200 mm × H2600 mm
Beschichtungsfarben	Gold, Silber, Schwarz (Gun Black), Roségold, Blau, Grau, Transparent
Beschichtungsfolien	Reine Metallfolie, Legierungsfolie, Verbundfolie; Härte 500–3000 HV, dicht und verschleißfest
Vakuumsystem	Diffusionspumpe/Turbo-Molekularpumpe + Vorschubpumpe + Drehschieberpumpe + Haltepumpe (kryogene Pumpe und Polycold sind optional)
Endvakuum	5* 10 ^-4Pa (saubere und leere Kammer)
Rotationssystem	Planetares Dreh- und Kreisbewegungssystem 6/8/10/12/16 Achsen

Beschichtungssystem	CKB ^®Planarer Sputterkathode / CKB ^®Zylinderstangen-Sputterkathode / IET ^®Ätzen / Verteilte MFC-Gasführung / HIPIMS-Sputtern


Netzteil	Gepulste Gleichstrom-Sputterleistung / Bipolare Sputterleistung / RF-Sputterleistung / Impuls-Bias-Leistung / HIPIMS-Leistung / IET ^®leistung
Betriebssystem	Vollautomatisch (IPC/PLC) + Fernbedienung + Alarmystem (OPC-UA-Verbindungsprotokoll verfügbar)

Anmerkung	Die konkrete Konfigurationsgröße kann entsprechend den Beschichtungsanforderungen des Kunden für das jeweilige Produkt ausgelegt werden

Anwendung

Weit verbreitet bei dekorativen Beschlägen, Haushaltsgeräteglas, Automobilteilen, 3C-Digitalprodukten, optischen Linsen, Glas-Kosmetikflaschen, Halbleiterkomponenten, Präzisionsinstrumententeilen sowie hochwertigen Kunsthandwerksobjekten; ermöglicht lebendige Farben und bildet eine gleichmäßige, dichte Schicht.