ເຄື່ອງຫຸ້ມດ້ວຍສຸນຍາກາດ PVD ດ້ວຍວິທີການກະຈາຍດ້ວຍແມ່ເຫຼັກ

ຫົວເປົ້າທີ່ເຢັນດ້ວຍວິທີທີ່ບໍ່ທັນຈະເຖິງໂດຍກົງ
ສະໜາມແມ່ເຫຼັກປິດທີ່ບໍ່ສົມດຸນ
ແຄໂທດແບບແຕ່ງຕັ້ງໄດ້ທັງແບບແຜ່ນດິນ ແລະ ບໍ່ແຜ່ນດິນ

ຄຳນຳ

ໃຊ້ເຕັກໂນໂລຢີ magnetron sputtering ປະເພດແຜ່ນດິສກ໌/ລ້ອນ, ສາມາດຫຸ້ມດ້ວຍຊັ້ນເລືອກ ແລະ ຊັ້ນປະກອບທີ່ໜາແໜ້ນ ແລະ ສອດຄ່ອງກັນ, ເໝາະສຳລັບວັດຖຸພື້ນຖານ ແລະ ສະຖານະການຕ່າງໆ

เทคโนโลยีหลัก

■ ຈຸດປະສົງແບບແຜ່ນລຽບ/ແບບກົງ (planar/rotary) ເປັນທາງເລືອກ, ມີຄວາມຍືດຫຍຸ່ນສູງ

■ ຄວບຄຸມດ້ວຍ PLC ໂດຍອັດຕະໂນມັດຢ່າງເຕັມຮູບແບບ, ງ່າຍຕໍ່ການໃຊ້ງານ

■ ສາມາດທຳການເຄືອບໄດ້ທັງແບບຊັ້ນດຽວ ແລະ ຊັ້ນຫຼາຍ, ມີຄຸນນະພາບຟິລມ໌ທີ່ບໍ່ປົນເປື້ອນ

■ ເໝາະສຳລັບຊິ້ນສ່ວນທີ່ມີຂະໜາດໃຫຍ່/ນ້ອຍ ແລະ ຮູບຮ່າງພິເສດ

ຄວາມສູງສຸດຂອງຫຼັກສູດ

■ ຟິລມ໌ທີ່ໜາແໜ້ນ ແລະ ສອດຄ່ອງກັນຢ່າງດີ ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງໃນການຈັບຕິດ

■ ຂະບວນການທີ່ສະຖຽນ ແລະ ມີຄວາມຊື້ອາດເຮັດຊ້ຳໄດ້ດີ

■ ການເຄືອບທີ່ອຸນຫຼວນຕ່ຳ, ບໍ່ເຮັດໃຫ້ວັດຖຸທີ່ອ່ອນໄຫວຕໍ່ຄວາມຮ້ອນເສຍຫາຍ

■ ການນຳໃຊ້ຈຸດປະສົງ (target) ມີປະສິດທິພາບສູງ, ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການບຳລຸງຮັກສາຕ່ຳ

ການຕັ້ງຄ່າພື້ນຖານ

ຮູບແບບ	CCZK-700-SF	CCZK-1012-SF	CCZK-1416-SF	CCZK-1618-SF	CCZK-1820-SF
ຂະໜາດຫ້ອງ	ເສ้นຜ່ານກາງ 700 ມມ * ຄວາມສູງ 700 ມມ	D1000mm*H1200mm	D1400mm*H1600mm	ເສ้นຜ່ານກາງ 1600 ມມ * ຄວາມສູງ 1800 ມມ	D1800mm*H2000mm
ພະລັງງານທີ່ໃຊ້	58kw	75kW	175ກວ	230kW	255kw
ເຂດທີ່ຈອດ	ຍາວ 4200 ມມ * ກວ້າງ 4200 ມມ * ສູງ 2300 ມມ	ຍາວ 5400 ມມ * ກວ້າງ 5200 ມມ * ສູງ 2900 ມມ	ຍາວ 6155 ມມ * ກວ້າງ 5050 ມມ * ສູງ 3210 ມມ	ຍາວ 6500 ມມ * ກວ້າງ 4750 ມມ * ສູງ 3200 ມມ	ຍາວ 7800 ມມ * ກວ້າງ 5200 ມມ * ສູງ 2600 ມມ
ສີຂອງຊັ້ນສີ	ເຫຼືອງ, ເງິນ, ດຳປືນ, ເຫຼືອງຮອສ, ນ້ຳເງິນ, ແກ້ວ, ຊັດເຈນ
ຟີລ໌ມທີ່ເປັນເຄືອບ	ຟິລມ໌ທີ່ເຮັດຈາກເລືອກທີ່ບໍ່ປົນເປື້ອນ, ຟິລມ໌ທີ່ເຮັດຈາກສະລັບ (alloy), ຟິລມ໌ທີ່ເປັນສຳລັບເຄມີ; ຄວາມແຂງ 500~3000HV, ແໜ້ນແຟ້ນ ແລະ ຕ້ານການສຶກສູດ
ລະບົບ Vacuum	ປັ້ມການແຜ່ຈາຍ / ປັ້ມໂມເລກຸນທີ່ມີຄວາມໄວສູງ + ປັ້ມເສີມ + ປັ້ມແບບລ້ຽວ + ປັ້ມຮັກສາ (ປັ້ມເຢັນດ້ວຍໄອເບືອງ ແລະ ປັ້ມເຢັນດ້ວຍເຄື່ອງເຢັນແບບພິເສດ ແມ່ນເປັນທາງເລືອກ)
ສຸນຍາກາດຂັ້ນສູງສຸດ	5* 10 ^-4Pa (ຫ້ອງທີ່ສະອາດ ແລະ ວ່າງ)
ລະບົບການປັ່ນ	ການຫຼິ້ນວຽນແລະການປະຕິວັດຂອງດາວເຄາະ 6/8/10/12/16 ແກນ

ລະບົບການເຄືອບ	CKB ^®ຄາທໂອດສັນທະນະແບບແຜ່ນລຽບ / CKB ^®ຄາທໂອດສັນທະນະແບບເຄື່ອງສູບແບບສູບຂອງສູບ / IET ^®ການກັດເຈາະ / ສາຍທາງກາຊ໌ MFC ທີ່ແຈກຢາຍ / ການສັນທະນະແບບ HIPIMS


ການສະຫນິດແພະຍົງ	ພະລັງງານການກະຈາຍ DC ທີ່ມີການປ່ຽນແປງ / ພະລັງງານການກະຈາຍແບບສອງຂ້າງ ພະລັງງານສັນທະນະແບບ RF / ພະລັງງານໄບອາດສູບແບບເປັນຈັງຫວะ / ພະລັງງານ HIPIMS / IET ^®ພະລັງງານ
ລະບົບປະຕິບັດການ	ອັດຕະໂນມັດຢ່າງເຕັມຮູບແບບ (IPC/PLC) + ການເຄື່ອນໄຫວຈາກໄກ + ລະບົບເຕືອນ (ມີໃຫ້ບໍລິການໂປຣໂທຄອນ OPC-UA)

ໝາຍເຫດ	ຂະໜາດການຈັດຕັ້ງທີ່ເປັນເອກະລັກສາມາດອອກແບບໄດ້ຕາມຄວາມຕ້ອງການຂອງລູກຄ້າຕໍ່ຜະລິດຕະພັນທີ່ຕ້ອງການທາສີ

ການນຳໃຊ້

ຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນສ່ວນປະກອບທີ່ໃຊ້ສຳລັບການແຕ່ງແທ້ງ, ແກ້ວອຸປະກອນໃນບ້ານ, ສ່ວນປະກອບລົດ, ຜະລິດຕະພັນດິຈິຕອນ 3C, ແກ້ວເລນສ໌, ຂວດເຄື່ອງສຳອາງແກ້ວ, ສ່ວນປະກອບເຊມີຄອນດັກເຕີ, ສ່ວນປະກອບເຄື່ອງມືທີ່ມີຄວາມຖືກຕ້ອງສູງ, ແລະ ອຸປະກອນທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ; ມັນສາມາດສະແດງສີທີ່ຫຼາກຫຼາຍ ແລະ ປະກອບເປັນຊັ້ນຟິລ໌ມທີ່ເປັນເອກະພາບ ແລະ ແໜ້ນ.