Magnetronsko razpršilna PVD vakuumsko prevlečna naprava

Posredno hlajeno jedro tarče
Neskladno zaprto magnetno polje
Ravninski / valjasti katoda po izbiri

Uvod

Uporablja ravninsko/vrtečo magnetronsko razpršilno tehnologijo, s katero je mogoče nanašati goste in enakomerno razporejene kovinske ter spojinske filme, primerni za različne podlage in scenarije

Jedrska tehnologija

■ Opcijski ravninski/vrtinčni cilji, odlična prilagodljivost

■ Popolnoma avtomatsko PLC krmiljenje, enostavna uporaba

■ Zmožen enoplastnega/večplastnega prevlečenja, visokokakovostna čista prevleka

■ Primeren za velike/majhne in posebno oblikovane delovne predmete

Glavni prednosti

■ Gosta in enakomerna prevleka z odlično oprijemljivostjo

■ Stabilen proces z dobro ponovljivostjo

■ Prevlečenje pri nizki temperaturi, brez poškodb toplotno občutljivih podlag

■ Visoka izkoriščenost ciljev, nizki stroški vzdrževanja

Osnovna konfiguracija

Model	CCZK-700-SF	CCZK-1012-SF	CCZK-1416-SF	CCZK-1618-SF	CCZK-1820-SF
Velikost komore	D700 mm × V700 mm	D1000 mm * V1200 mm	D1400 mm * V1600 mm	D1600 mm * V1800 mm	D1800 mm * V2000 mm
Power Load	58 KW	75KW	175KW	230kW	255 kW
Območje pristanka	D4200 mm * Š4200 mm * V2300 mm	D5400 mm * Š5200 mm * V2900 mm	D6155 mm * Š5050 mm * V3210 mm	D6500 mm * Š4750 mm * V3200 mm	D7800 mm * Š5200 mm * V2600 mm
Barve premazov	Zlata, srebrna, črna kot pištola, rožnato zlata, modra, siva, prozorna
Prevlečne plasti	Čisti kovinski film, zlitinski film, sestavljeni film; trdota 500–3000 HV, gost in obrabi odporen
Vakuumska sistema	Difuzijska črpalka / turbomolekularna črpalka + pomožna črpalka + rotacijska lopastna črpalka + vzdrževalna črpalka (hladilna črpalka in polihladilnik sta izbirni)
Končni vakuum	5 × 10 ^-4Pa (Čista in prazna komora)
Sistem vrtenja	Planetarno vrtenje in kroženje 6/8/10/12/16 osi

Prevlečni sistem	CKB ^®Ravninski naparilni katod / CKB ^®Cilindrični palčni naparilni katod / IET ^®Izriva / Porazdeljena plinska pot MFC / HIPIMS naparjanje


Napajanje	Pulsirajoča enosmerna napetost za razprševanje / Dvoopolna napetost za razprševanje / RF naparilna moč / Impulzna polarizacijska moč / HIPIMS moč / IET ^®moč
Operacijski sistem	Popolnoma avtomatsko (IPC/PLC) + oddaljeno upravljanje + alarmni sistem (Na voljo je protokol povezave OPC-UA)

Opomba	Specifične dimenzije konfiguracije se lahko oblikujejo glede na zahteve stranke glede premaznih izdelkov

Uporaba

Široko uporabljen v dekorativnih delih za pohištvo, steklenih delih gospodinjskih aparatov, avtomobilskih delih, digitalnih izdelkih 3C, optičnih lečah, steklenih embalažah za kozmetiko, polprevodniških komponentah, natančnih instrumentih in visokokakovostnih dekorativnih predmetih; omogoča prikaz bogatih barv ter tvorbo enakomernega in gostega filmskega sloja.