मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग पीवीडी वैक्यूम कोटिंग मशीन

अप्रत्यक्ष रूप से शीतलित टारगेट कोर
असंतुलित बंद चुंबकीय क्षेत्र
समतल/बेलनाकार कैथोड वैकल्पिक

परिचय

समतल/घूर्णन मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग प्रौद्योगिकी को अपनाता है, जो घने और समान धातु एवं यौगिक फिल्मों का निक्षेपण कर सकता है, जो विभिन्न आधार सामग्रियों और परिदृश्यों के लिए उपयुक्त है

मूल प्रौद्योगिकी

■ वैकल्पिक समतल/घूर्णन लक्ष्य, उच्च अनुकूलन क्षमता

■ पूर्ण स्वचालित PLC नियंत्रण, सरल संचालन

■ एकल/बहु-स्तरीय लेपन के लिए सक्षम, शुद्ध फिल्म की गुणवत्ता

■ बड़े/छोटे और विशिष्ट आकार के कार्य-टुकड़ों के लिए उपयुक्त

कोर फायदे

■ सघन और समान फिल्म जिसकी चिपकने की क्षमता प्रबल है

■ स्थिर प्रक्रिया जिसमें अच्छी पुनरावृत्ति क्षमता है

■ कम तापमान पर लेपन, ऊष्मा-संवेदनशील आधार पदार्थों को कोई क्षति नहीं

■ उच्च लक्ष्य उपयोग, कम रखरखाव लागत

मूल विन्यास

मॉडल	CCZK-700-SF	CCZK-1012-SF	CCZK-1416-SF	CCZK-1618-SF	CCZK-1820-SF
चैम्बर आकार	D700मिमी*H700मिमी	व्यास 1000 मिमी * ऊँचाई 1200 मिमी	व्यास 1400 मिमी * ऊँचाई 1600 मिमी	व्यास 1600 मिमी * ऊँचाई 1800 मिमी	व्यास 1800 मिमी * ऊँचाई 2000 मिमी
पावर लोड	58kw	75कव	175KW	230kW	255 किलोवाट
लैंडिंग क्षेत्र	लंबाई 4200 मिमी * चौड़ाई 4200 मिमी * ऊँचाई 2300 मिमी	लंबाई 5400 मिमी * चौड़ाई 5200 मिमी * ऊँचाई 2900 मिमी	लंबाई 6155 मिमी * चौड़ाई 5050 मिमी * ऊँचाई 3210 मिमी	लंबाई 6500 मिमी * चौड़ाई 4750 मिमी * ऊँचाई 3200 मिमी	L7800मिमीW5200मिमीH2600मिमी
कोटिंग रंग	सुनहरा, चांदी का, गन ब्लैक, गुलाबी सुनहरा, नीला, धूसर, पारदर्शी
कोटिंग फिल्में	शुद्ध धातु फिल्म, मिश्र धातु फिल्म, यौगिक फिल्म; कठोरता 500~3000HV, घनी और घर्षण प्रतिरोधी
वैक्यूम प्रणाली	डिफ्यूज़न पंप/टर्बो आणविक पंप + बूस्टर पंप + रोटरी वेन पंप + होल्डिंग पंप (क्रायोजेनिक पंप और पॉलीकोल्ड वैकल्पिक हैं)
अंतिम वैक्यूम	5*10 ^-4Pa (साफ़ और खाली कक्ष)
घूर्णन प्रणाली	ग्रहीय घूर्णन और परिक्रमण 6/8/10/12/16 अक्ष

कोटिंग सिस्टम	सीकेबी ^®प्लैनर स्पटरिंग कैथोड / सीकेबी ^®सिलेंडर रॉड स्पटरिंग कैथोड / IET ^®एचआईपीआईएमएस स्पटरिंग / एचआईपीआईएमएस स्पटरिंग के लिए वितरित एमएफसी गैस पथ / एचआईपीआईएमएस स्पटरिंग


पावर सप्लाई	पल्स्ड डीसी स्पटरिंग शक्ति / बाइपोलर स्पटरिंग शक्ति / आरएफ स्पटरिंग पावर / पल्स्ड बायस पावर / एचआईपीआईएमएस पावर / आईईटी ^®शक्ति
संचालन प्रणाली	पूर्ण स्वचालित (आईपीसी/पीएलसी) + दूरस्थ संचालन + अलार्म प्रणाली (OPC-UA लिंक प्रोटोकॉल उपलब्ध है)

टिप्पणी	विशिष्ट कॉन्फ़िगरेशन का आकार ग्राहक के कोटिंग उत्पाद आवश्यकताओं के अनुसार डिज़ाइन किया जा सकता है

अनुप्रयोग

यह व्यापक रूप से हार्डवेयर सजावटी भागों, घरेलू उपकरणों के कांच, ऑटोमोटिव भागों, 3C डिजिटल उत्पादों, प्रकाशिक लेंसों, कांच की सौंदर्य प्रसाधन की बोतलों, अर्धचालक घटकों, सटीक उपकरण घटकों और उच्च-स्तरीय कारीगरी के आभूषणों में उपयोग किया जाता है; यह समृद्ध रंग प्रस्तुत कर सकता है और एक समान तथा घने फिल्म परत का निर्माण कर सकता है।